[发明专利]用于制备具有改善的边缘清晰度的结构的方法

权利要求书

1.一种方法，包括：

相对于多光子固化性光反应性组合物扫描辐射光束，其中所述辐射光束具有的功率足以至少部分地固化一定体积的所述多光子固化性光反应性组合物；以及

随着所述辐射光束被扫描，改变所述辐射光束的特性。

2.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述辐射光束的特性会改变结构的边缘清晰度。

3.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述辐射光束的特性包括改变所述光束的功率。

4.根据权利要求3所述的方法，其中改变所述辐射光束的特性进一步包括：

测量所述辐射光束的功率；

将测量的所述辐射光束的功率与所需的所述辐射光束的功率进行比较；以及

改变所述辐射光束的功率，使得测量的所述辐射光束的功率基本上等于所需的所述辐射光束的功率。

5.根据权利要求3所述的方法，其中改变所述辐射光束的特性包括：改变所述辐射光束的功率以使至少部分地固化的体素的尺寸基本上保持恒定。

6.根据权利要求3所述的方法，其中改变所述辐射光束的功率包括：响应所述辐射光束的焦点的扫描速度的变化来改变所述辐射光束的功率。

7.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述辐射光束的特性包括改变所述光束的扫描速度。

8.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述辐射光束的特性包括使所述辐射光束在至少一个轴上高频振动。

9.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述辐射光束的特性包括对所述光束的焦点的空间调制。

10.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述辐射光束的特性会降低结构的表面粗糙度。

11.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述辐射光束的特性包括当到达结构的边缘时遮挡所述光束。

12.一种方法，包括：

在多光子固化性光反应性组合物内扫描辐射光束的焦点，以通过多光子吸收至少部分地固化一定体积的所述多光子固化性光反应性组合物；

在所述焦点被扫描时，测量所述辐射光束的至少一部分的功率；

将测量的所述辐射光束的所述至少一部分的功率与所需的所述辐射光束的功率进行比较；以及

在所述焦点被扫描时，根据所测量的功率与所需的功率之间的差值来调节所述辐射光束的功率。

13.根据权利要求12所述的方法，其中扫描辐射光束的焦点包括改变所述辐射光束的焦点的扫描速度，并且其中所需的所述辐射光束的功率随所述扫描速度改变而改变。

14.根据权利要求12所述的方法，其中调节所述辐射光束的功率还包括：调节所述辐射光束的功率以保持基本上恒定的体素尺寸。

15.一种方法，包括：

相对于多光子固化性光反应性组合物扫描辐射光束的焦点，其中所述辐射光束具有的功率足以至少部分地固化靠近所述焦点的一定体积的所述多光子固化性光反应性组合物；以及

在所述焦点被扫描时，使所述辐射光束的焦点沿着至少一个轴高频振动。

16.根据权利要求15所述的方法，还包括：

随着所述辐射光束的焦点被扫描，改变所述辐射光束的功率。

17.根据权利要求15所述的方法，其中使所述辐射光束的焦点高频振动包括：当沿着或接近预定体积的表面扫描所述焦点时，使所述辐射光束的所述焦点高频振动，而当在所述体积内扫描时，不使所述辐射光束的所述焦点高频振动。

18.一种方法，包括：

在多光子固化性光反应性组合物中指定包括边界的区域；

在所指定的区域内相对于所述多光子固化性光反应性组合物扫描辐射光束，其中所述辐射光束具有的功率足以至少部分地固化一定体积的所述多光子固化性光反应性组合物；

扫描所述辐射光束越过所述边界并离开所述指定的区域；

一旦所述辐射光束在所述指定的区域的外面，就遮挡所述辐射光束；以及

扫描所述辐射光束越过所述边界并进入所述指定的区域中，其中一旦所述辐射光束在所述指定的区域内，则不遮挡所述辐射光束，其中在所述光束被扫描越过所述边界时，所述辐射光束的扫描速度不变。