[发明专利]测定误差的修正方法及电子元器件特性测定装置

权利要求书

1.一种测定误差的修正方法，对于具有2端口以上的任意n端口的电子元器件，根据在安装于测试测定夹具的状态下测定电学特性的结果，算出该电子元器件在安装于基准测定夹具的状态下测定时应可得到的电学特性的推测值，其特征在于，具有：

第1步骤，对于具有互异电学特性的至少3个第1修正数据获取试样，在安装于所述基准测定夹具的状态下测定电学特性；

第2步骤，对于所述至少3个第1修正数据获取试样、可视为具有与所述至少3个第1修正数据获取试样同等的电学特性的至少3个第2修正数据获取试样、或可视为具有与所述至少3个第1修正数据获取试样中的一部分同等的电学特性的至少1个第3修正数据获取试样及其它所述第1修正数据获取试样，在安装于所述测试测定夹具的状态下测定电学特性；

第3步骤，根据在所述第1及第2步骤中测定的结果决定数学式，所述数学式假设在所述基准测定夹具与所述测试测定夹具中的至少一者的至少2个端口间，存在有不传递至与该2个端口连接的电子元器件、而在该2个端口间直接传递的泄漏信号，且对于同一电子元器件，使在安装于所述测试测定夹具的状态下测定的电学特性的测定值、与在安装于所述基准测定夹具的状态下测定的电学特性的测定值相关联；

第4步骤，对于任意电子元器件，在安装于所述测试测定夹具的状态下测定电学特性；以及

第5步骤，根据在所述第4步骤中测定的结果，并使用在所述第3步骤中决定的所述数学式，算出该电子元器件在安装于所述基准测定夹具的状态下测定时应可得到的电学特性。

2.如权利要求1所述的测定误差的修正方法，其特征在于，

在各个所述基准测定夹具及所述测试测定夹具中，若欲对存在所述泄漏信号的端口全部进行修正，则

在所述第1步骤中，对于具有互异电学特性的至少5个所述第1修正数据获取试样，在安装于所述基准测定夹具的状态下测定电学特性；

在所述第2步骤中，对于所述至少5个第1修正数据获取试样、可视为具有与所述至少5个第1修正数据获取试样同等的电学特性的至少5个所述第2修正数据获取试样、或可视为具有与所述至少5个第1修正数据获取试样中的一部分同等的电学特性的至少1个所述第3修正数据获取试样及其它所述第1修正数据获取试样，在安装于所述测试测定夹具的状态下测定电学特性；

在所述第3步骤中，根据在所述第1及第2步骤中测定的结果决定的所述数学式，是假设修正各个所述基准测定夹具及所述测试测定夹具中所有端口的泄漏信号的数学式。