[发明专利]扫描探针显微镜

权利要求书

1.一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，其用于对上述悬臂照射光；检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，该扫描探针显微镜的特征在于，

具备：

a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；

b)光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；

c)补偿部件，其根据由上述光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角的变化，控制上述光源部，以减轻上述反射光的位置信息中的上述变化的影响。

2.一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，其用于对上述悬臂照射光；检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，该扫描探针显微镜的特征在于，

具备：

a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；

b)光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；

c)补偿部件，其根据由上述光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角的变化，控制插入到上述照射光的光路中的光学元件，以减轻上述反射光的位置信息中的上述变化的影响。

3.一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，其用于对上述悬臂照射光；检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，该扫描探针显微镜的特征在于，

具备：

a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；

b)光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；

c)移动部件，其为了改变上述试样和上述悬臂之间的相对距离，使上述试样和上述悬臂中至少任一个移动；

d)补偿部件，其根据由上述光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角的变化，控制上述移动部件，以减轻上述反射光的位置信息中的上述变化的影响。

4.一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，其用于对上述悬臂照射光；检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，该扫描探针显微镜的特征在于，

具备：

a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；

b)光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；

c)补偿部件，其根据由上述光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角的变化，根据该变化量，对上述反射光的位置信息或基于该位置信息而得到的反映试样表面的凹凸或物性的数据进行校正。