[发明专利]辐射源、光刻设备以及器件制造方法

权利要求书

1.一种辐射源，配置用以产生辐射，所述辐射源包括：

第一电极(11；61)和第二电极(12；62)，配置成用以在使用期间产生放电(Ed)，以由等离子体燃料产生用于发射辐射的等离子体(RP)；

燃料供给装置(13；63)，配置成将等离子体燃料供给到与所述第一电极(11；61)和第二电极(12；62)相关的燃料释放区域；和

燃料释放装置(21)，配置成从所述燃料释放区域引发由所述燃料供给装置供给的燃料的释放，所述燃料释放区域与所述第一电极(11；61)和所述第二电极(12；62)间隔开。

2.根据权利要求1所述的源，还包括驱动装置(19)，所述驱动装置(19)配置成旋转所述第一电极(11；61)或所述第二电极(12；62)或所述燃料供给装置(13；63)，或其任意组合。

3.根据权利要求1或2所述的源，其中所述燃料供给装置(13；63)包括燃料输送系统或作为燃料输送系统的一部分，所述燃料输送系统配置成从燃料贮存器(16；66)输送燃料到所述燃料释放区域。

4.根据权利要求3所述的源，其中所述燃料输送系统(13；63)配置成通过旋转从所述燃料贮存器输送燃料到所述燃料释放装置。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的源，其中所述燃料供给装置(13；63)不是所述第一电极(11)或所述第二电极(12)的一部分，其中优选地所述燃料供给装置(13；63)不是所述第一电极(11；61)和所述第二电极(12；62)中的任一个的一部分。

6.根据前述权利要求中任一项所述的源，其中所述燃料供给装置(13；63)配置成相对于所述第一电极(11)和所述第二电极(12)的所述放电区域(Ed)以对称的关系定位所述燃料释放区域。

7.根据前述权利要求中任一项所述的源，其中所述第一电极(11)和所述第二电极(12)形成阳极，而所述燃料供给装置(13)是放电阴极。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的源，其中所述第一电极(11)和所述第二电极(12)形成阴极，而所述燃料供给装置(13)是放电阳极。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的源，其中所述第一电极(61)是放电阳极而所述第二电极(62)是放电阴极。

10.根据至少权利要求2所述的源，其中所述驱动装置(19)配置成旋转所述第一电极(11)和所述第二电极(12)。

11.根据前述权利要求中任一项所述的源，还包括第一冷却浴器(14；64)，所述第一冷却浴器(14；64)用以冷却所述第一电极或所述第二电极或所述燃料供给装置，或其任意组合。

12.根据前述权利要求中任一项所述的源，其中所述燃料供给装置(13；63)是旋转轮，或是旋转对称的或圆柱形的燃料供给单元，或连接到高压电源，或其任意组合。

13.一种辐射源，配置用以产生辐射，所述辐射源包括：

燃料蒸发系统(21，41)，配置用以产生蒸发的等离子体燃料；

第一可旋转电极(11；61)和第二可旋转电极(12；62)，配置成在使用期间在其之间产生放电(Ed)，以由蒸发的等离子体燃料产生用于发射辐射的等离子体(Rp)；和

包括冷却介质的冷却介质贮存器(14，15；64，65)，配置成冷却所述第一可旋转电极(11；61)和所述第二可旋转电极(12；62)。

14.根据权利要求13所述的源，其中所述蒸发系统设置有燃料液滴产生装置(41)或燃料射流产生装置。

15.根据权利要求13或14所述的源，其中所述燃料蒸发系统设置有燃料供给装置(13；63)。

16.根据权利要求15所述的源，其中所述源包括配置用以旋转所述燃料供给装置的驱动装置(19)。

17.根据权利要求15或16所述的源，其中所述燃料供给装置构造并布置成通过所述燃料供给装置的旋转从燃料贮存器(16；66)输送燃料到蒸发区域，所述燃料蒸发系统配置成在所述蒸发区域处蒸发所述等离子体燃料。