[发明专利]用于动态对准束校准的系统和方法

权利要求书

1.一种在等离子处理系统中执行DA(动态对准)束校准的方法，所述方法包括：

获得位置差，所述位置差通过光学成像方法取得，所述光学成像方法包括：

将晶片设在末端执行器上，

取得所述晶片在所述末端执行器上的静止图像，

处理所述静止图像以确定所述晶片的中心和由所述末端执行器限定的末端执行器限定中心，

确定所述晶片的中心和所述由所述末端执行器限定的末端执行器限定中心之间的位置差，

通过利用机器移动补偿来补偿所述晶片和所述末端执行器之间的所述位置差而将晶片相对末端执行器定心；

移动所述晶片和所述末端执行器通过与等离子处理模块关联的DA束；和

通过记录所述DA束的中断-然后-恢复样式获得基准DA束样式，所述中断-然后-恢复样式随着所述晶片和所述末端执行器移动通过所述DA束出现。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括在所述末端执行器上提供第一视觉标识，使得处理单元能够从所述静止图像确定所述末端执行器限定中心，所述第一视觉标识表示用来导出所述末端执行器限定中心的基准标记。

3.根据权利要求1所述的方法，进一步包括在所述晶片上提供第一视觉标识，使得处理单元能够从所述静止图像确定所述晶片的中心，所述第一视觉标识用来确定由所述第一视觉标识描述的圆，由此能够确定所述晶片的中心。

4.根据权利要求1所述的方法，进一步包括采用图像捕获装置来获取所述晶片和所述末端执行器的静止图像从而可在生产条件条件下校准所述DA束。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述图像捕获装置的至少一部分实现在等离子处理室内部。

6.根据权利要求1所述的方法，进一步包括通过光学通道获得所述静止图像，该通道允许所述静止图像包括所述末端执行器的第一视觉标识的图像的至少一部分和所述晶片的第一视觉标识的图像的至少一部分两者，所述末端执行器的所述第一视觉标识表示用来导出所述末端执行器限定中心的基准标记，所述晶片的所述第一视觉标识用来确定由所述晶片的所述第一视觉标识描述的圆。

7.一种用于在等离子处理系统中执行DA(动态对准)束校准的系统，所述系统包括：

机器控制器，所述机器控制器构造为执行下列至少一个

通过利用机器移动补偿来补偿晶片和末端执行器之间的位置差而将晶片相对末端执行器定心，

移动所述晶片和所述末端执行器通过与等离子处理模块关联的DA束；

图像捕获装置，所述图像捕获装置构造为取得所述晶片和所述末端执行器的至少一个的一个或多个静止图像；

处理单元，至少执行：处理所述一个或多个静止图像以确定所述末端执行器限定中心和所述晶片的中心和确定所述末端执行器限定中心和所述晶片的中心之间的所述位置差，其中所述位置差使用原位光学成像方法获得；和

逻辑模块，所述逻辑模块构造用于通过记录所述DA束的中断-然后-恢复样式获得基准DA束样式，随着所述晶片和所述末端执行器移动通过所述DA束出现所述中断-然后-恢复样式。

8.根据权利要求7所述的系统，其中所述末端执行器提供有第一视觉标识，由此使得所述处理单元能够从所述一个或多个静止图像确定所述末端执行器限定中心，所述第一视觉标识表示用来导出所述末端执行器限定中心的基准标记。

9.根据权利要求7所述的系统，其中所述晶片提供有第一视觉标识，由此使得所述处理单元能够从所述一个或多个静止图像确定所述晶片的中心，所述第一视觉标识用来确定由所述第一视觉标识描述的圆，由此能够确定所述晶片的中心。

10.根据权利要求7所述的系统，其中所述图像捕获装置的至少一部分实现在所述处理系统的等离子处理室内部。

11.根据权利要求7所述的系统，其中通过光学通道获得所述一个或多个静止图像，该通道允许所述一个或多个静止图像包括所述末端执行器的第一视觉标识的图像的至少一部分和所述晶片的第一视觉标识的图像的至少一部分两者，所述末端执行器的所述第一视觉标识表示用来导出所述末端执行器限定中心的基准标记，所述晶片的所述第一视觉标识用来确定由所述晶片的所述第一视觉标识描述的圆。