[发明专利]喷淋头电极总成和包含该喷淋头电极总成的等离子体处理室

权利要求书

1.一种包含热控制板、硅基喷淋头电极和紧固硬件的电极总成，其中：

该热控制板包含背部、前部和被配置为将处理气体引导到该热控制板的前部的一个或多个处理气体通道；

该硅基喷淋头电极包含背部、前部和从该硅基喷淋头电极的背部延伸到该硅基喷淋头电极的前部的多个喷淋头通道；

该硅基喷淋头电极进一步包含在该硅基喷淋头电极的背部中形成的多个部分缺口，该部分缺口在该缺口和该硅基喷淋头电极的前部之间留下一定厚度的硅基电极材料；

该硅基喷淋头电极进一步包含位于沿着该硅基喷淋头电极的背部的该部分缺口中的背部插入件；

该热控制板进一步包含被配置为允许紧固硬件进入位于沿着该硅基喷淋头电极的背部的该部分缺口中的该背部插入件的紧固硬件通道；

该热控制板和该硅基喷淋头电极啮合为该热控制板的前部面对该硅基喷淋头电极的背部，该硅基喷淋头电极中的该喷淋头通道与该热控制板中的该处理气体通道对准，且该紧固硬件通道与位于沿着该硅基喷淋头电极的背部的该部分缺口中的该背部插入件对准；

该紧固硬件延伸至少部分穿过该热控制板中的该紧固硬件通道，与位于沿着该硅基喷淋头电极的背部的该部分缺口中的该背部插入件啮合；以及

该紧固硬件和该背部插入件被配置为保持该热控制板和该硅基喷淋头电极的啮合并允许该热控制板和该硅基喷淋头电极的拆卸，同时在拆卸过程中隔离该硅基喷淋头电极的该硅基电极材料与该紧固硬件免于摩擦接触。

2.根据权利要求1所述的电极总成，其中该紧固硬件和该背部插入件被配置为允许该热控制板和该硅基喷淋头电极的重复啮合和拆卸，该热控制板和该硅基喷淋头电极的非破坏性拆卸，或允许两者。

3.根据权利要求1所述的电极总成，其中该紧固硬件、该背部插入件和该部分缺口被配置为当该紧固硬件和背部插入件在啮合状态时，该背部插入件能够与该紧固硬件一起在该部分缺口内移动，而不会从该缺口撞出。

4.根据权利要求1所述的电极总成，其中该背部插入件的硬度不超过该硅基电极材料的硬度。

5.根据权利要求1所述的电极总成，其中该背部插入件包含聚醚醚酮(PEEK)，该聚醚醚酮被配置和制造为该背部插入件的硬度不超过该硅基电极材料的硬度。

6.根据权利要求1所述的电极总成，其中该缺口和该硅基喷淋头电极的前部之间的硅基电极材料的厚度至少是约0.25厘米。

7.根据权利要求1所述的电极总成，其中该缺口和该硅基喷淋头电极的前部之间的硅基电极材料的厚度至少是该硅基喷淋头电极的总厚度的约25％。

8.根据权利要求1所述的电极总成，其中该背部插入件位于该部分缺口中以便它们相对于该硅基喷淋头电极的背部被嵌入。

9.根据权利要求1所述的电极总成，其中该背部插入件包含工具啮合部和被配置为允许工具啮合该背部插入件而不延伸超出该插入件的边缘的一个或多个横向遮蔽部分。

10.根据权利要求1所述的电极总成，其中至少一个背部插入件被配置为在该硅基喷淋头电极的背部中形成的该部分缺口之一的锚。

11.根据权利要求10所述的电极总成，其中该背部插入件包含接头，其被配置为以插入并旋转的方式补充该喷淋头电极的该电极材料中形成的底切部分。

12.根据权利要求11所述的电极总成，其中该背部插入件以弹簧负载状态固定在该缺口中。

13.根据权利要求12所述的电极总成，其中选择该背部插入件的外径尺寸和该接头的大小和形状以允许该插入件在弹簧负载状态时在该部分缺口中移动。

14.根据权利要求10所述的电极总成，其中该背部插入件通过在该硅基电极材料中形成的螺纹部分固定在该部分缺口中。

15.根据权利要求10所述的电极总成，其中该部分缺口包含底切部而通过将该背部插入件定位为至少部分延伸到该部分缺口的该底切部分而将其固定在该部分缺口中。

16.根据权利要求10所述的电极总成，其中该背部插入件被配置为包含背部延长部的立柱，该延长部被配置为延伸到该热控制板中的一个紧固硬件通道中而该紧固硬件被配置为进入该紧固硬件通道中的该背部插入件的该背部延长部。