[发明专利]放电灯有效

专利信息
申请号: 200880120558.6 申请日: 2008-11-21
公开(公告)号: CN101896992A 公开(公告)日: 2010-11-24
发明(设计)人: 安田诚;小林刚;塩谷幸男 申请(专利权)人: 株式会社ORC制作所
主分类号: H01J65/00 分类号: H01J65/00
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 黄纶伟;吕俊刚
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 电灯
【说明书】:

技术领域

本发明主要涉及产业用灯,涉及介质阻挡放电灯(dielectric-barrierdischarge lamp)、电容耦合型高频放电灯。例如,涉及作为紫外线光源的受激准分子灯、低压水银灯等。

背景技术

例如,作为上述产业用紫外线光源的一种,有具备172nm发光波长的氙受激准分子灯,其经常在清洗基板等时使用。受激准分子灯经常采用双重管构造的灯。这些灯的发光部都呈轴向较长的管状。关于这种灯有专利文献1等,例如,封入了氙气的受激准分子灯经常在液晶面板用基板的干洗等时使用。在这种情况下,被照射对象物的基板以固定速度在传送带上移动,灯被设置在基板的稍微上方与传送带的流动方向正交的方向。对被照射对象物的宽度整体进行一次照射,同时使基板以固定速度移动,所以能够沿着整个基板进行均匀的处理。另一方面,例如在半导体工艺的领域中,往往在其各个工序中使用紫外光进行半导体晶片表面的加工、改性等。因此,往往采用来自氙受激准分子的发光即172nm、来自氪和氯的受激准分子的发光即222nm、水银共振线即254nm等紫外光。并且,也考虑了非双重管构造的、在单管的放电容器的两侧面配置电极的荧光灯。基于防止使用时的沿面放电、提高安全性的目的,该灯具有利用玻璃灯壳或陶瓷等耐热性部件形成的被覆层。下面,列举几个与此相关联的现有技术的示例。

专利文献1公开的双重管方式的“介质阻挡放电灯”,在内侧管的内侧面形成一个电极,在外侧管的外侧面形成另一个电极。当向这两个电极之间施加数千伏的高频电压时,在内侧管和外侧管之间的放电空间产生介质阻挡放电。由于向电极之间施加数千伏的高电压,所以在两个电极之间有可能沿着放电容器表面产生沿面放电。通过使放电容器的两端到电极端部的距离足够长、或者在放电容器端附加绝缘性物质,能够阻止沿面放电。在现有的受激准分子灯中,一般经常采用如上所述的双重管构造的管状灯。

专利文献2公开的“稀有气体放电灯”进行外壁电极的绝缘保护,防止沿面放电和触电事故。如图5(b)所示,在对内壁涂敷了荧光体膜的管状玻璃灯壳中,封入以氙气为主成分的稀有气体。在玻璃灯壳的外壁上沿着玻璃灯壳的大致整体长度配置一对带状电极。在包括带状电极的玻璃灯壳上涂敷硅酮树脂等绝缘性被膜。另外,在该绝缘性被膜上套装热收缩性绝缘管。

专利文献3公开的“稀有气体放电灯”对外壁电极进行绝缘保护,防止沿面放电。如图5(c)所示,在对内壁涂敷了荧光体膜的管状玻璃灯壳中,封入以氙气气体为主成分的稀有气体。在玻璃灯壳的外壁上配置一对带状电极。在玻璃灯壳的表面上形成透明的硅酮树脂的绝缘被膜。再在其上套装聚酯的热收缩性树脂管。这样,将带状电极双重绝缘进行保护。

专利文献4公开的“荧光灯”用于提高针对施加给外部电极的高电压的安全性。如图5(d)所示,在由玻璃灯壳构成的外围器具的内表面上被覆有发光层,以形成孔部。在该外围器具的外表面上,沿着轴向固定有彼此相对的由铝带构成的外部电极。在该外部电极的端部连接着与外部电路连接用的导线。在外围器具的外表面上形成有由玻璃灯壳构成的被覆层,用于被覆外部电极的主要部分。

专利文献5公开的“荧光放电管”利用绝缘被膜防止外部放电,利用辅助灯壳提高机械强度。如图5(e)所示,在向内部封入了稀有气体的玻璃灯壳的筒体外表面上,沿着轴向呈带状设置彼此相对的一对外部电极。利用绝缘被膜覆盖筒体的整个外表面。在玻璃灯壳上外装辅助灯壳,利用辅助灯壳覆盖绝缘被膜,而保护绝缘被膜。在将该荧光放电管设置在传真机等设备内部时,飞散的碳粉等不会附着在绝缘被膜上,能够防止外部放电。

专利文献6公开的“荧光灯”用于防止玻璃灯壳表面上的外部电极之间的绝缘电阻由于潮气的附着而降低。如图5(f)所示,在管状的玻璃灯壳的内表面形成荧光被膜。沿着灯壳的管轴方向,在灯壳外表面形成具有透光性的一对外部电极。在灯壳内部封入放电媒介。为了防止容易附着潮气的玻璃灯壳的绝缘下降,并防止两个外部电极之间的短路,在玻璃灯壳外表面的一对外部电极之间形成由硅酮树脂等构成的电气绝缘层。电气绝缘层不仅形成于外部电极之间,也可以沿着灯壳的全周形成。如果沿着全周形成,电极之间被绝缘,同时对于导线与电极连接的结构,能够实现牢靠的接合。在沿着灯壳全周的情况下,也可以套装聚乙烯等热收缩性管。

专利文献1:日本专利公报第3170952号

专利文献2:日本特开平04-087249号公报

专利文献3:日本特开平04-112449号公报

专利文献4:日本实开平05-090803号公报

专利文献5:日本特开平07-272691号公报

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社ORC制作所,未经株式会社ORC制作所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200880120558.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top