[发明专利]用于表征空气流中荷电尘埃颗粒的尺寸分布的装置

权利要求书

1.用于表征空气流(50)中荷电尘埃颗粒的尺寸分布的装置(1，2)，包含：

-颗粒荷电单元(60)，其布置成通过使进入该装置(1，2)的尘埃颗粒荷电来创建荷电尘埃颗粒的尺寸分布，

-第一测量部分(10)和第二测量部分(20)的平行布置，其置于该颗粒荷电单元(60)的下游，以及

-数据评价单元(40)，

其中该第一测量部分(10)包含：

-第一颗粒检测单元(11)，其布置成沉淀基本上所有进入的荷电尘埃颗粒，并产生与荷电尘埃颗粒沉淀在该第一颗粒检测单元(11)内部对应的第一输出信号(41)，

该第二测量部分(20)包含：

-第二颗粒检测单元(21)，其布置成沉淀至少部分的所有进入的荷电尘埃颗粒，并产生与荷电尘埃颗粒沉淀在该第二颗粒检测单元(21)内部对应的第二输出信号(42)，以及

-第一颗粒沉淀单元(22)，其布置成部分减小具有大于第一颗粒尺寸限制的尺寸的荷电尘埃颗粒的浓度，

该数据评价单元(40)布置成基于该第一输出信号(41)和该第二输出信号(42)，计算具有大于该第一颗粒尺寸限制的尺寸的尘埃颗粒的颗粒数目浓度和平均直径。

2.根据权利要求1的装置(1，2)，进一步包含与该第一测量部分(10)和该第二测量部分(20)并行布置的第三测量部分(30)，该第三测量部分(30)包含：

-第三颗粒检测单元(31)，其布置成沉淀至少部分的所有进入的荷电尘埃颗粒，并产生与荷电尘埃颗粒沉淀在该第三颗粒检测单元(31)内部对应的第三输出信号(43)，以及

-第二颗粒沉淀单元(32)，其布置成沉淀基本上所有进入的具有小于第二颗粒尺寸限制的尺寸的荷电尘埃颗粒，

其中该数据评价单元(40)进一步布置成基于该第一输出信号(41)、该第二输出信号(42)和该第三输出信号(43)，计算具有大于该第二颗粒尺寸限制的尺寸的尘埃颗粒的颗粒数目浓度和平均颗粒直径。

3.根据权利要求2的装置(1，2)，其中该第二颗粒尺寸限制为使得该空气流(50)中大于该第一颗粒尺寸限制的荷电尘埃颗粒的数目浓度的至少90％具有小于该第二颗粒尺寸限制的尺寸，以及其中该数据评价单元(40)进一步布置成根据具有大于该第一颗粒尺寸限制的尺寸的尘埃颗粒的平均直径以及根据该第二颗粒尺寸限制的数值，确定该空气流(50)中荷电尘埃颗粒的尺寸分布的相对宽度。

4.根据前述权利要求任意一项的装置(1，2)，其中该颗粒荷电单元(60)为扩散荷电单元，该扩散荷电单元包含电晕放电源(61)、至少部分围绕该电晕放电源(61)的多孔屏蔽电极(62)、至少部分围绕该多孔屏蔽电极(62)的参考电极(63)、以及用于在该多孔屏蔽电极(62)和该参考电极(63)之间应用电势差的装置(64)。

5.根据前述权利要求任意一项的装置(1，2)，其中至少一个该颗粒检测单元(11，21，31)包含布置在法拉第笼(112，212，312)内的颗粒过滤器(111，211，311)，该法拉第笼(112，212，312)经由灵敏电流计连接到参考电势，该灵敏电流计布置成将输出信号(41，42，43)转发到该数据评价单元(40)。

6.根据前述权利要求任意一项的装置(1，2)，其中至少一个该颗粒检测单元(11，21，31)包含平行板沉淀器(221，321)，该平行板沉淀器(221，321)的板其中之一经由灵敏电流计连接到参考电势，该灵敏电流计布置成将输出信号(41，42，43)转发到该数据评价单元(40)。

7.根据前述权利要求任意一项的装置(1，2)，其中该第一颗粒尺寸限制设置在介于10nm和20nm的尺寸范围内的颗粒直径。