[发明专利]HVPE反应器装置

权利要求书

1.一种HVPE反应器装置，包括反应室(1)、用于将工艺气体引入所述反应室的气体进口(2)、残留气体出口(3)、以及用于通过所述残留气体出口从所述反应室排出残留气体的泵(4)，所述泵能够在所述反应室中产生并维持小于或等于大约100mbr的压强，特征在于，所述反应器装置包括用于将溶解流体提供到所述泵以溶解在泵内表面上的所述残留气体的制剂的可能寄生沉积的设备(6，7，V2，V3)。

2.如权利要求1所述的HVPE反应器装置，特征在于，用于将溶解流体提供到所述泵的所述设备包括与所述泵(4)的入口流连接的溶解流体容器(6，7)。

3.如权利要求1或2所述的HVPE反应器装置，特征在于，所述反应器装置包括跟随有乙二醇扩散器(9)的额外的残留气体出口(8)，用作用于例如在所述反应器的净化期间排出所述残留气体的可选的残留气体排出路径。