[发明专利]具有集成保护性流槽的耐用MEMS流量裸片无效
| 申请号： | 200880118427.4 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101878526A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | L·F·里克斯 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | H01L23/10 | 分类号： | H01L23/10;H01L23/48 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘春元;蒋骏 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 集成 保护性 耐用 mems 流量 | ||
其中要求保护专有所有权或权利的本发明的实施例由下文限定。对在此描述的发明要求如下：
1.一种系统，包括：
衬底，具有顶面和底面；
传感元件，电连接到顶面上的多个引线接合焊盘；
入口孔和出口孔，从顶面到底面穿过衬底；以及
固定于顶面的顶帽，其中顶帽覆盖入口孔、传感元件以及出口孔，以使得流入入口孔的流体在传感元件的上方流动并且流出出口孔，并且其中顶帽防止流体接触引线接合焊盘。
2.如权利要求1所述的系统，其中顶帽为玻璃。
3.如权利要求2所述的系统，其中衬底为硅。
4.如权利要求2所述的系统，其中衬底为石英。
5.如权利要求2所述的系统，其中衬底为玻璃，并且其中顶帽通过玻璃接合而固定于衬底，所述玻璃接合例如是通过玻璃熔融工艺产生的玻璃接合。
6.如权利要求1所述的系统，还包括位于顶面上的、将传感元件电连接至引线接合焊盘的辅助电路，其中辅助电路包括至少一个电阻器。
7.如权利要求1所述的系统，其中顶帽为硅。
8.一种系统，包括：
衬底，具有顶面和底面；
流量传感元件，电连接到顶面上的多个引线接合焊盘；
入口孔和出口孔，从顶面到底面穿过衬底；以及
固定于顶面的顶帽，其中顶帽覆盖入口孔、流量传感元件以及出口孔，以使得流入入口孔的流体在传感元件的上方流动并且流出出口孔，并且其中顶帽防止流体接触引线接合焊盘。
9.如权利要求8所述的系统，还包括位于顶面上的、将传感元件电连接至引线接合焊盘的辅助电路，其中辅助电路包括至少一个电阻器。
10.如权利要求8所述的系统，其中顶帽被密封于顶面，以使得所有进入入口孔的流体都退出出口孔。
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