[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，

该激光加工装置具备：

位置固定的工作台，所述工作台的基板载置面由多孔部件形成，并且所述工作台设有经由多孔部件吸附基板的吸附机构、以及经由多孔部件对基板吹送气体使基板浮起的浮起机构；

激光光源；

激光束扫描光学系统，所述激光束扫描光学系统将从激光光源射出的激光束整形为截面为椭圆的激光束并引导至基板的加工面，并沿被照射至基板上的椭圆束斑的长轴方向进行扫描；以及

基板引导机构，所述基板引导机构在对载置于工作台上的基板进行定位或者使该基板移动时，通过活动抵接部引导基板，该活动抵接部与浮起的基板的基板侧面抵接并在工作台表面沿水平方向推压基板侧面使基板移动。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，

基板引导机构设有多个活动抵接部，并且各活动抵接部配置成相互夹持基板。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，

各活动抵接部的与基板侧面抵接的部位分支，各活动抵接部相对于基板在两个部位抵接。

4.根据权利要求1所述的激光加工装置，

基板引导机构具备臂，所述臂具有用于使活动抵接部在工作台表面沿水平方向自由移动的关节部。

5.根据权利要求1所述的激光加工装置，

激光束扫描光学系统具备：

束整形部，所述束整形部对从激光光源射出的激光束进行整形，并以平行光束且截面为椭圆的束、或者非平行光束且截面为椭圆的束射出；

光路调整部，所述光路调整部调整从束整形部射出的椭圆束的射出方向，并在该椭圆束为非平行光束的情况下将该椭圆束调整为平行光束的椭圆束并射出；以及

扫描机构部，所述扫描机构部由扫描轴移动镜和扫描轴导向机构构成，所述扫描轴移动镜一边反射从光路调整部射出的平行光束的椭圆束一边移动，在基板上扫描椭圆束斑，所述扫描轴导向机构使该扫描轴移动镜沿束斑的长轴方向移动，

激光光源和束整形部相对于扫描机构部独立设置，并且在使束斑扫描时束整形部不移动。

6.根据权利要求5所述的激光加工装置，

扫描机构部还具备进给轴移动镜和进给轴导向机构，所述进给轴移动镜在与束斑的长轴方向正交的方向移动，所述进给轴导向机构使该进给轴移动镜沿与所述束斑的长轴方向正交的方向移动，从光路调整部射出的平行光束的椭圆束依次被进给轴移动镜、扫描轴移动镜反射并在基板上形成束斑。

7.根据权利要求6所述的激光加工装置，

扫描轴导向机构具备扫描轴导轨和进给轴导轨，所述扫描轴导轨引导扫描轴移动镜沿束斑的长轴方向移动，所述进给轴导轨引导进给轴移动镜沿与束斑的长轴方向正交的方向移动，扫描轴导轨与进给轴移动镜连结且一体移动。

8.根据权利要求5所述的激光加工装置，

束整形部具备束变形单元，所述束变形单元由配置成彼此形成共焦点的一对抛物面镜构成，

束变形单元构成为：一个抛物面镜将激光束在一个方向缩小或放大的同时向另一抛物面镜射出，另一抛物面镜将所入射的激光束以短轴宽度或长轴宽度确定的平行光束的椭圆激光束射出。

9.根据权利要求8所述的激光加工装置，

该激光加工装置具备两个束变形单元，一个束变形单元形成由第一抛物面镜和第二抛物面镜成对地构成的短轴形成用束变形单元，所述第一抛物面镜和第二抛物面镜配置成彼此形成第一共焦点，另一束变形单元形成由第三抛物面镜和第四抛物面镜成对地构成的长轴形成用束变形单元，所述第三抛物面镜和第四抛物面镜配置成彼此形成第二共焦点，

短轴形成用束变形单元构成为：第一抛物面镜将从所述激光光源射出的激光束在第一方向缩小的同时朝向第二抛物面镜射出，第二抛物面镜将所入射的激光束整形为短轴宽度确定的平行光束的椭圆激光束并朝向长轴形成用束变形单元射出，

长轴形成用束变形单元构成为：第三抛物面镜将从第二抛物面镜射出的激光束在与所述第一方向正交的第二方向扩大的同时朝向第四抛物面镜射出，第四抛物面镜将所入射的激光束整形为短轴宽度和长轴宽度都确定的平行光束的椭圆激光束并射出。

10.根据权利要求8所述的激光加工装置，

束变形单元准备有多组光学常数不同且成对的抛物面镜，在改变所射出的平行光束的椭圆束的截面形状时，成组地更换每一对抛物面镜。