[发明专利]荧光生物芯片诊断设备

权利要求书

1.一种荧光生物芯片诊断设备，包括：

图像传感器，具有多个光电探测器；以及

带通滤波器单元，具有形成于所述多个光电探测器上的多个带通滤波器，

其中，所述多个带通滤波器是通过在金属层中形成纳米结构图样而实现的。

2.根据权利要求1所述的荧光生物芯片诊断设备，进一步包括：信号处理单元，处理从所述多个光电探测器获得的信号。

3.根据权利要求1或2所述的荧光生物芯片诊断设备，其中，所述金属层具有由透射光的波长的带宽确定的厚度。

4.根据权利要求1或2所述的荧光生物芯片诊断设备，其中，所述金属层具有100nm到1,500nm的厚度。

5.根据权利要求1或2所述的荧光生物芯片诊断设备，其中，所述金属层的图样之间的距离由所述透射光的中心波长确定。

6.根据权利要求1或2所述的荧光生物芯片诊断设备，其中，所述金属层由过渡金属构成。

7.根据权利要求1或2所述的荧光生物芯片诊断设备，其中，所述金属层由选自Al、Ag、Au、Pt或Cu的至少一种材料构成。

8.根据权利要求1或2所述的荧光生物芯片诊断设备，其中，所述带通滤波器单元分离地连接到所述生物芯片的下部，所述带通滤波器单元与所述生物芯片分离。

9.一种生物芯片诊断设备，包括：

衬底，具有光电二极管区、垂直电荷转移区和隔离膜，所述光电二极管区检测来自生物芯片的荧光，所述垂直电荷转移区是电荷转移路径，所述电荷转移路径内收集有由所述光电二极管区中的光电效应产生的电荷；

栅极绝缘膜和栅电极，以这种次序形成于所述衬底上；

层间绝缘膜，形成于具有所述栅电极的所述衬底上；以及

至少一个金属层，被形成以在所述层间绝缘膜内提供电路布线，

其中，具有金属纳米结构的至少一个带通滤波器位于至少所述金属层的延长线上。

10.根据权利要求9所述的荧光生物芯片诊断设备，其中，所述金属层具有由透射光的波长的带宽确定的厚度。

11.根据权利要求9所述的荧光生物芯片诊断设备，其中，所述金属层具有100nm到1,500nm的厚度。

12.根据权利要求9所述的荧光生物芯片诊断设备，其中，所述金属层的图样之间的距离由所述透射光的中心波长确定。

13.根据权利要求9所述的荧光生物芯片诊断设备，其中，所述金属层由过渡金属构成。

14.根据权利要求9所述的荧光生物芯片诊断设备，其中，所述金属层由选自Al、Ag、Au、Pt或Cu的至少一种材料构成。