[发明专利]小型气柜

权利要求书

1.一种用于分配特殊气体的装置(2)，所述装置能够安装在气罐(B)上，所述装置包括容纳有流体回路的多功能单元(3)，该多功能单元(3)包括：

-单个高压调整器(4)，

-包括三个低压阀(V1、V2、V3)的吹扫系统，

-流体连接到气罐(B)的内容物的部件(6)，

-向设备供应气体的出口，

其特征在于，所述高压调整器(4)位于吹扫系统的上游，并且所述气体分配装置设置在允许在所述气罐(B)的主气罐阀周围形成抽气区域的空间内。

2.如权利要求1所述的装置，进一步包括真空发生器(5)。

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述吹扫系统是所谓的交叉吹扫系统，其包括称为增压管道的第一管道(7)、允许产生真空的第二、出口管道(8)以及允许将待分配的气体传输到设备(E)的第三、抽气管道(9)，所述三个管道(7、8、9)在位于调整器(4)下游的位置A处连接。

4.如权利要求1到3中任一项所述的装置，其特征在于，所述多功能单元(3)进一步包括位于所述调整器(4)的上游的压力传感器(11)。

5.如权利要求1到4中任一项所述的装置，其特征在于，所述多功能单元(3)进一步包括位于所述调整器(4)的下游和所述吹扫系统的上游的压力传感器(11)。

6.如权利要求1到5中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置包括连接件(10)，该连接件位于所述装置的其中一个外壁上并且能够与抽气系统连接。

7.如权利要求1到6中任一项所述的装置，包括电控系统(15)，该电控系统(15)用于致动气动阀(V1、V2、V3)和吹扫循环。

8.如权利要求4到7中任一项所述的装置，包括电控系统(15)，该电控系统(15)用于致动气动阀(V1、V2、V3)及控制所述压力传感器和吹扫循环。

9.如权利要求1到8中任一项所述的装置，包括设有紧固元件的卡圈(14)，所述紧固元件例如为螺纹，该紧固元件设计成与气罐(B)的主气罐阀的互补紧固元件(13)相配合。

10.如权利要求1到9中任一项所述的装置，其特征在于，该装置的体积范围在1000cm³到27000cm³之间。

11.如权利要求1到10中任一项所述的装置(2)，其特征在于，所述多功能单元(3)的体积是所述装置(2)的体积的1/4到4/5之间，特别地在1/3到4/5之间，优选地在2/5到4/5之间。

12.一种用于分配特殊气体的组件(1)，所述组件包括容纳有压力为P1的气体的气罐(B)和如权利要求1到11中任一项所述的用于分配特殊气体的装置(2)，其特征在于，在竖直的使用位置，所述组件(1)占用的尺寸等于气罐(B)的直径。

13.一种评定特殊气体源的方法，包括：

-从气罐(B)中抽取气体的步骤，

-通过分配装置分配气体的步骤，

其特征在于，所述分配装置是如权利要求1到11中任一项所述的装置。

14.如权利要求1到11中任一项所述的装置的应用，用于评定新的特殊气体源。

15.如权利要求1到11中任一项所述的装置的应用，用于评估对现有机器使用特殊气体的新方法。

16.一种多功能单元(3)，所述多功能单元容纳有流体回路，所述流体从气罐(B)流出并将由分配装置输送，所述分配装置例如为如权利要求1到11中任一项所述的装置，该多功能单元(3)包括：

-单个高压调整器(4)，

-包括三个低压阀(V1、V2、V3)的吹扫系统，

-流体连接到气罐(B)的内容物的部件(6)，

其特征在于，所述高压调整器(4)位于所述吹扫系统的上游。