[发明专利]运送基板承载件的方法与设备

说明书

相关申请案

请求美国临时专利申请案第60/981,818号的优先权，其申请日为2007年10月22日，专利名称为“运送基板承载件的方法及设备(METHODS ANDAPPARATUS FOR TRANSPORTING SUBSTRATE CARRIERS)”，在此将其整体并入以做为参考。

技术领域

本发明涉及基板在输送器(conveyor)系统上的运送，更具体的说，涉及在电子器件制造系统中运送基板承载件的方法及设备。

背景技术

在电子器件制造设备中的工具之间或是多种工艺之间运送基板时，会使用基板承载件。这些基板承载件容纳基板，可以由输送器系统传送，并且以可容易地自该系统卸除。有效的输送器系统试图在运送基板的同时不会对其造成伤害，并且在设备中的各种工具或位置之间快速输送基板及承载件。

发明内容

在一实施态样中，提供一种用于运送基板承载件的输送器设备。该输送器设备包括：多个带状物部分，用多个T形加劲肋(stiffener)将带状物部分迭接(spliced)在一起，且T形加劲肋延伸穿过各个带状物部分，其中带状物部分沿着T形加劲肋的长度的一部分完全地包围T形加劲肋；以及多个支撑轮，适于沿着T形加劲肋的表面滚动。

在另一实施态样中，提供一种输送器设备。该输送器设备包括：带状物部分，包括多个闭合的狭缝；以及多个T形加劲肋，在闭合的狭缝中延伸。

在另一实施态样中，提供一种用于运送基板承载件的输送器设备。该输送器设备包括：带状物部分，包括二个狭缝，所述狭缝间隔设置在带状物部分的中线的两侧；以及T形加劲肋，包括二个支脚，所述支脚在狭缝中延伸。

在另一实施态样中，提供一种用于运送基板承载件的输送器设备。该输送器设备包括：多个有弹性的带状物部分，包括强化拉力构件，用容设在狭缝中的多个T形加劲肋沿着有弹性的带状物部分的斜向形成的末端(diagonallyformed end)而将该些有弹性的带状物部分迭接在一起，其中T形加劲肋延伸穿过各个有弹性的带状物部分，并且延伸超过有弹性的带状物部分的底部，其中有弹性的带状物部分沿着T形加劲肋的长度的一部分完全地包围T形加劲肋，以及其中有弹性的带状物部分在其二侧皆包括平滑表面；夹钳件，附接至T形加劲肋的底端，以将T形加劲肋紧固至有弹性的带状物部分；支架，附接至至少部分的T形加劲肋，支架适于支托基板承载件；多个支撑轮，适于沿着T形加劲肋的顶冠部(crown)的底面滚动；以及多个导引轮，适于在有弹性的带状物部分的两侧的平滑表面上滚动。

在另一实施态样中，提供一种用于运送基板承载件的输送器设备。该输送器设备包括：有弹性的带状物部分，包括斜向形成的末端以及多组间隔设置在带状物部分的中线两侧的二个狭缝；多个T形加劲肋，T形加劲肋的每个都包括顶冠部及二个支脚，该二个支脚容设在至少部分的该些组的二个狭缝中；以及夹钳件，附接至T形加劲肋的底端，以将T形加劲肋紧固至有弹性的带状物部分。

在又一实施态样中，提供一种形成用于运送基板承载件的输送器设备的方法，包括以下步骤：提供带状物，其包括多个狭缝；以及将T形加劲肋容设于狭缝中，其中带状物沿着T形加劲肋的长度完全地包围T形加劲肋的至少一部分。

在又另一实施态样中，提供一种形成用于运送基板承载件的输送器设备的方法。该方法包括以下步骤：提供多个带状物部分，且带状物部分的每个都包括斜向形成的末端，其中各个斜向形成的末端包括多个狭缝；以及用在狭缝中延伸的多个T形加劲肋将带状物部分迭接在一起。

根据本发明的这些及其他实施态样可提供多种其他实施态样。本发明的其他特征及实施态样通过下方的详细说明、权利要求书及所附图式而变得完全明显。

附图说明

图1绘示用于运送本发明的基板承载件的输送器设备。

图2A绘示本发明的输送器设备的有弹性的带状物部分的立体图。

图2B绘示图2A的有弹性的带状物部分的片段的放大立体视图。

图3A绘示本发明的T形加劲肋的实施例的顶视立体图。

图3B绘示图3A的T形加劲肋的实施例的底视立体图。

图4A绘示用于传送基板承载件的输送器设备的片段的顶视平面图，该输送器设备包括本发明的T形加劲肋，且T形加劲肋显示为未偏斜。

图4B绘示用于传送基板承载件的输送器设备的片段的顶视平面图，该输送器设备包括本发明的T形加劲肋，且T形加劲肋显示为偏斜。

图4C绘示图4B的输送器设备的片段的部分的放大顶视平面图。