[发明专利]利用激光扫描反射计的自动几何校准

权利要求书

1.一种校准固态成像系统的校准板，所述固态成像系统使用具 有光化性波长的光束，所述校准板包括：

刚性的第一基板，所述第一基板具有配置成基本不散射所述光束 的第一表面，其中所述第一表面包含光吸收材料；和

与所述第一表面相关的多个基准标记，其中所述基准标记被配置 成散射所述光束。

2.按照权利要求1所述的校准板，其中所述基准标记形成于所 述光吸收材料之中或之上。

3.按照权利要求1所述的校准板，其中所述第一表面被阳极化。

4.按照权利要求3所述的校准板，其中所述第一表面被光阳极 化，并且其中所述基准标记包含卤化银。

5.按照权利要求4所述的校准板，其中所述第一基板由铝形成， 厚度一般0.5英寸～2英寸，并且其中所述第一表面在任意20英寸跨 度内测得的平坦度FL≤0.005英寸。

6.按照权利要求1所述的校准板，其中所述基准标记包含圆形 点、方形点和六边形点之一，所述点具有0.030英寸的直径，和0.25 英寸的中心距。

7.按照权利要求1所述的校准板，其中所述第一基板的厚度0.5 英寸～2英寸，并且其中所述第一表面在任意20英寸跨度内测得的平 坦度FL≤0.005英寸，所述校准板还包括：

第二基板，所述第二基板具有第二表面，并且被置于所述第一表 面之顶上，并且所述第二基板具有这样的厚度，以致所述第二基板与 第一表面平坦度基本上一致，其中所述第二表面基本上是非散射的， 并且其中所述基准标记形成于该基本上非散射的第二表面上。

8.按照权利要求7所述的校准板，其中所述第二基板的厚度为 0.0015英寸～0.004英寸。

9.按照权利要求7所述的校准板，其中所述第二表面基本上是 吸收光的。

10.按照权利要求9所述的校准板，其中所述第二表面被阳极化。

11.按照权利要求10所述的校准板，其中所述第二表面被光阳 极化，并且其中所述基准标记包含卤化银。

12.一种校准固态成像系统的校准设备，所述固态成像系统具有 基于镜的光学系统，并且具有构造平面，所述基于镜的光学系统具有 用于使具有光化性波长的光束转向的角位置可调的镜，所述构造平面 被所述光束有选择地曝光，从而产生物体，所述校准设备包括：

包含非散射表面、和形成于所述非散射表面上且能够置于所述构 造平面附近的多个基准标记的校准板，其中所述非散射表面基本上不 散射所述光束且包含光吸收材料，并且所述基准标记被配置成散射所 述光束；

布置在所述校准板上方，以便检测来自所述基准标记的散射光， 并响应于此而产生检测器信号的光电检测器；和

控制系统，所述控制系统被配置成控制所述光束的转向，并处理 所述检测器信号，以便测量所述基准标记的中心位置，并进行确定所 述镜的角位置和所述构造平面处的(x，y)位置之间的关系的插值处理。

13.按照权利要求12所述的校准设备，其中所述校准板包含：

第一基板，所述第一基板的厚度0.5英寸～2英寸，具有在任意 20英寸跨度内测得的平坦度FL≤0.005英寸的第一表面；和

第二基板，所述第二基板具有第二表面，并且被置于所述第一表 面之顶上，所述第二基板具有这样的厚度，以致所述第二基板与第一 表面平坦度基本上一致，其中所述第二表面基本上是非散射的，并且 其中所述基准标记形成于所述基本上非散射的第二表面上。