[发明专利]加速度传感器有效
| 申请号: | 200880110224.0 | 申请日: | 2008-09-24 |
| 公开(公告)号: | CN101903778A | 公开(公告)日: | 2010-12-01 |
| 发明(设计)人: | D·雷勒 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号: | G01P15/08 | 分类号: | G01P15/08;G01P15/125 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
| 地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 加速度 传感器 | ||
1.加速度传感器,具有一衬底、至少一个隔板(1,12,13)和一振动质量(9),
其中,所述隔板(1,12,13)和所述振动质量(9)设置在所述衬底的平面上方,
其中,所述振动质量(9)至少设置在所述隔板(1,12,13)的两侧上,
其中,所述振动质量(9)能弹动地悬挂在所述隔板(1,12,13)上,和
其中,所述隔板(1,12,13)借助至少一个锚定部(41,42)锚定在所述衬底上,
其特征在于,所述至少一个锚定部(41,42)设置在所述振动质量(9)的质量重心(10)之外。
2.如权利要求1的加速度传感器,其特征在于,设置有至少两个锚定部(41和42)。
3.如权利要求2的加速度传感器,其特征在于,所述质量重心(10)设置在所述两个锚定部(41和42)之间。
4.如上述权利要求之一的加速度传感器,其特征在于,所述振动质量(9)环形地围绕所述隔板(1,12,13)设置。
5.如上述权利要求之一的加速度传感器,其特征在于,设置有至少两个隔板(12和13),所述振动质量(9)能弹动地悬挂在所述至少两个隔板上。
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