[发明专利]测定水蒸气透过度的装置和方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于测定测定对象物的水蒸气透过度的装置和方法。

背景技术

已往，在以有机发光设备、有机半导体、有机太阳能电池、薄膜 电池等领域为首的各种领域中，为了防止预定区域内被含有氧、水蒸 气等的气体劣化，使用具有气体阻隔性的材料。

为了测定该材料的水蒸气透过度，采用JIS K-7129型的感湿传感 器法、红外传感器法、或者专利文献1和2公开的钙腐蚀法。

近年来，在有机发光设备的领域中，要求使用气体阻隔性非常高 的材料，为了对其进行评价，要求能测定到10^-5g/m²/天程度的水蒸气 透过度。

但是，上述感湿传感器法、红外传感器法和钙腐蚀法只能测定到 10^-3g/m²/天左右程度的水蒸气透过度，不能测定到10^-5g/m²/天程度的 水蒸气透过度。另外，即使是能测定到10^-3g/m²/天左右程度的水蒸气 透过度，也需要数日的时间。

专利文献1：日本特开2005-283561号公报

专利文献2：日本特开2006-250816号公报

发明内容

为此，本发明的目的是，提供能用高灵敏度且短期间测定透过测 定对象物的水蒸气量的测定装置和方法。

为了解决上述课题，本发明者等经过锐意研究，提出了下述解决 方案。

即，本发明第1实施方式的水蒸气透过度的测定方法的特征在于， 在由测定对象物分隔的第1和第2空间中，将第1空间保持在大气压 下并保持预定的温度和湿度，将第2空间保持在大气压下并成为露点 温度为-70℃以下的干燥状态，将水蒸气导入了第1空间内后，测定 第2空间内的露点温度，根据上述测定的露点温度，测定上述测定对 象物的水蒸气透过度。

另外，第2实施方式的本发明是在第1实施方式记载的测定方法 中，其特征在于，在不排出第2空间内的水蒸气、使水蒸气滞留在第 2空间内的状态下，依时间顺序测定第2空间内的露点温度，从各测 定时的露点温度算出各测定时的第2空间内的水蒸气量累计值，根据 上述累计值，测定上述测定对象物的水蒸气透过度。

另外，第3实施方式的本发明是在第1实施方式记载的测定方法 中，其特征在于，为了使第2空间成为干燥状态，导入露点温度为- 70℃以下的氮或空气。

另外，第4实施方式的本发明是在第1实施方式记载的测定方法 中，其特征在于，把第1空间保持在温度20～70℃、相对湿度30％～ 95％的范围内。

另外，本发明第5实施方式的水蒸气透过度测定装置的特征在于， 备有第1室、第2室、测定对象物保持机构、温度保持机构、湿度保 持机构和露点计；上述第1室能从外部导入气体；上述第2室能从外 部导入气体；上述测定对象物保持机构位于使第1室和第2室连通的 部位，用于保持测定对象物；上述温度保持机构用于将第1室和第2 室的温度保持为预定的温度；上述湿度保持机构用于将第1室的湿度 保持为预定的湿度；上述露点计用于测定上述第2室的气体的露点温 度。

另外，本发明第6实施方式的水蒸气透过度测定装置是在第5实 施方式记载的水蒸气透过度测定装置中，其特征在于，备有把导入到 第2室内的上述气体排出到外部的排出机构。

另外，本发明第7实施方式的水蒸气透过度测定装置是在第6实 施方式记载的水蒸气透过度测定装置中，其特征在于，备有使上述排 出的气体环流到第2室内的环流机构。

另外，第8实施方式的本发明是在第5实施方式的水蒸气透过度 测定装置中，其特征在于，把金属制的凸缘相向配置，构成将第1室 和第2室连接的部位，在上述各凸缘上设置了环状的密封部件。

根据本发明，可以用1.0×10^-3g/m²/天～1.0×10^-6g/m²/天范围的灵敏 度、短期间内测定透过测定对象物的水蒸气量。

附图说明

图1是本发明一实施方式的装置构造的说明图。

图2是表示本发明一实施例的测定结果的曲线图。

图3是表示本发明一实施例的测定结果的曲线图。

符号说明