[发明专利]蒸汽传输系统

权利要求书

1.一种用于将物质传输至处理室的传输系统，在使用中，至少一个大物品位于所述处理室中以便将一个或多个性质赋予所述大物品的表面，所述系统包含：

第一容器，其用于填充液体物质；

第二容器，其用于接收来自所述第一容器的液体物质；

第一流量控制装置，其用于控制允许从所述第一容器流向所述第二容器的液体物质的量；

蒸发装置，其用于蒸发所述第二容器中的液体物质；及

第二流量控制装置，其用于控制从所述第二容器流向处理室的蒸发物质的流量。

2.根据权利要求1所述的传输系统，其中所述第一流量控制装置具有内部空间，所述内部空间尺寸定成当从所述第一容器填充时接收预定量的液体物质，且其中所述第一流量控制装置能够控制流入所述内部空间的液体物质的流量和从所述内部空间流向所述第二容器的液体物质的流量。

3.根据权利要求1或2所述的传输系统，其中所述第一流量控制装置包含导管、位于所述导管上游部分的第一阀和位于所述导管下游部分的第二阀，且所述内部空间由所述导管、所述第一阀和所述第二阀限定。

4.根据权利要求3所述的传输系统，其中所述第一阀能够打开以允许液体物质流进所述内部空间中。

5.根据权利要求3或4所述的传输系统，其中所述第二阀能够打开以允许液体物质从所述内部空间流向所述第二容器。

6.根据从属于权利要求3的权利要求4所述的传输系统，其中所述第一阀能够打开且所述第二阀能够关闭以允许液体物质填充所述内部空间。

7.根据权利要求6所述的传输系统，其中当所述内部空间充满时，所述第一阀能够关闭且所述第二阀能够打开以允许所述预定量的液体物质流入所述第二容器。

8.根据任一项前述权利要求所述的传输系统，其中所述第二流量控制装置包含阀，所述阀能够打开以允许蒸发物质流入处理室以及能够关闭以限制流入所述处理室。

9.一种操作用于将物质传输至处理室的传输系统的方法，所述系统包含：

第一容器，其用于填充液体物质；

第二容器，其用于接收来自所述第一容器的液体物质；

第一流量控制装置，其用于控制允许从所述第一容器流向所述第二容器的液体物质的量；

蒸发装置，其用于蒸发所述第二容器中的液体物质；及

第二流量控制装置，其用于控制从所述第二容器流向处理室的蒸发物质的流量；

其中所述方法包含：

允许所述量的液体物质从所述第一容器流向所述第二容器；

蒸发所述容器中的液体物质；及

允许所述蒸发物质流进所述处理室中。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一流量控制装置包含导管、位于所述导管上游部分的第一阀和位于所述导管下游部分的第二阀，且预定量的内部空间由所述导管、所述第一阀和所述第二阀限定，且其中所述第一阀打开而所述第二阀关闭以允许液体物质流入所述内部空间，以及所述第一阀关闭而所述第二阀打开以允许所述预定量的液体流入所述第二容器。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述第二流量控制装置包含阀，所述阀能够打开以允许蒸发物质流入处理室以及能够关闭以限制流入所述处理室。

12.根据权利要求1至8中任一项所述的系统或根据权利要求9或10所述的方法，其中所述物质是用于等离子处理的单体。

13.一种用于对制品表面进行等离子处理的设备，所述设备包含：

处理室，制品能够放置在所述处理室中；

如权利要求1至8中任一项所述的传输系统，其用于将物质传输至所述处理室以在所述室内形成等离子体；

用于在所述处理室内产生电场的装置，其用于在所述物质供应到所述处理室时形成等离子体以便所述制品的表面能够被处理；及

压力控制装置，其用于选择性地控制所述处理室内的压力。