[发明专利]薄膜沸腾法的边缘致密化

权利要求书

1.一种致密化多孔基材的方法，其包含：

在反应室中，将多孔基材浸入液体前体中使得液体前体渗透多孔基材中的孔隙；和

将所述浸入的多孔基材感应加热至足以引起液体前体热解并在该基材的孔隙内沉积分解产物的温度以将多孔基材致密化，

提供围绕该多孔基材的屏障，构造并安排所述屏障以提供液体前体与多孔基材之间的一些接触。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述屏障包含安置于一部分多孔基材上的多孔网料层。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述多孔网料具有约30％至约60％的开口孔隙率。

4.根据权利要求2或权利要求3所述的方法，其中所述多孔网料为聚四氟乙烯(“PTFE”)网料。

5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，该方法包含用绝缘材料覆盖所述多孔基材的外周边缘。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述多孔基材为具有径向向外的外周边缘和径向向里的外周边缘的环状元件，且用绝缘材料覆盖该多孔基材的外周边缘包含用绝缘材料覆盖环状元件的径向向外和径向向里的外周边缘。

7.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其中所述屏障包含位于邻接所述多孔基材的壁元件。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述屏障包含位于所述多孔基材相对侧的两个基本上平行的壁元件。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述两个基本上平行的壁元件的外周对所述液体前体是开放的。

10.根据权利要求8所述的方法，其中所述两个基本上平行的壁元件的外周为封闭的，且所述两个基本上平行的壁元件的至少一个具有通过其形成的开口。

11.根据权利要求1-10任一项所述的方法，其中所述液体前体包含碳氢化合物。

12.根据权利要求1所述的方法，其中所述分解产物包含碳。

13.根据权利要求11所述的方法，其中所述碳氢化合物选自环戊烷、环己烷、1-己烯、汽油、甲苯、甲基环己烷、正己烷、煤油、加氢脱硫煤油、苯或其组合。

14.根据权利要求1-10任一项所述的方法，其中所述液体前体含有有机硅烷。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述有机硅烷选自甲基三氯硅烷、二甲基二氯硅烷、甲基二氯硅烷或三-n-甲基氨基硅烷。

16.根据权利要求14所述的方法，其中所述分解产物包含碳化硅和氮化硅。

17.根据权利要求1所述的方法，其中所述液体前体为有机硅烷和碳氢化合物的混合物。

18.根据权利要求16所述的方法，其中所述分解产物为碳/碳化硅或碳/氮化硅的一种。

19.根据权利要求1所述的方法，其中所述多孔基材通过感应加热浸入的多孔基材的步骤部分致密化，

所述方法进一步包含在部分致密化所述多孔基材之后，降低反应室中液体前体的水平以将部分致密化的多孔基材留在液体前体外面，将残留的液体前体加热至其蒸发的温度，并在CVD致密化法中使用该蒸发的液体前体以完成该部分致密化的多孔基材的致密化。

20.一种致密化多孔基材的方法，其包含：

在反应室中，将多孔基材浸入液体前体中使得液体前体渗透多孔基材中的孔隙；和

通过将所述多孔基材感应加热至足以引起液体前体热解并在该基材的孔隙内沉积分解产物的温度以将该浸入的多孔基材部分致密化，

在部分致密化多孔基材之后，降低反应室中液体前体的水平以将部分致密化的多孔基材留在液体前体外面，

将残留的液体前体加热至其蒸发的温度，以及

通过在CVD致密化法中使用该蒸发的液体前体来完成该部分致密化的多孔基材的致密化。

21.一种用于使用液体基体前体致密化多孔基材的反应器，其包含：

反应室；

至少一个安置于反应室中的感应线圈加热装配；和

接收待致密化的多孔基材的屏障装配，所述屏障装配包含两个基本上平行的板，排列每个板使得其与在其间接收的多孔基材保持基本上恒定的距离。