[发明专利]低温泵系统

权利要求书

1.一种低温泵系统，其包括分别配备有致冷器的多个低温泵和用于压缩气体并且将压缩气体供应给所述致冷器的多个压缩机，所述低温泵系统包括：

至少一个主压缩机，其的驱动频率基于高压气体供应管与低压气体回收管之间的压差被控制；

一个或多个副压缩机，其以预定驱动频率被驱动；以及

控制器，其基于所述主压缩机的驱动频率单独地控制所述副压缩机的驱动以开始或停止操作。

2.根据权利要求1所述的低温泵系统，其中当所述主压缩机的驱动频率超过预定频率时，所述控制器控制至少一个不工作的副压缩机开始操作。

3.根据权利要求1所述的低温泵系统，其中当所述主压缩机的驱动频率变得低于预定频率时，所述控制器控制至少一个工作的副压缩机停止操作。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的低温泵系统，其中：

所述主压缩机、所述副压缩机和所述低温泵的致冷器由用于供应气体的高压气体供应管和用于回收气体的低压气体回收管连接，以及

所述主压缩机是差压控制压缩机，其被驱动以将附连到高压气体供应管的检测传感器所检测到的压力值与附连到低压气体回收管的检测传感器所检测到的压力值之间的压差值保持在预定范围内。

5.根据权利要求4所述的低温泵系统，其中阀被插入所述主压缩机和所述副压缩机的高压气体供应管和低压气体回收管中。

6.根据权利要求5所述的低温泵系统，其中所述控制器与受到驱动控制的副压缩机的操作的开始同步地打开用于将气体供应给受到驱动控制的所述副压缩机的阀，并且与受到驱动控制的副压缩机的操作的停止同步地关闭用于将气体供应给受到驱动控制的所述副压缩机的阀。

7.根据权利要求1所述的低温泵系统，其中所述副压缩机包括排气量彼此不同的压缩机。