[发明专利]用于增强干涉式调制器的色彩偏移的装置

说明书

相关申请案的交叉参考

本申请案主张2007年7月31日申请的第60/962,796号美国临时专利申请案的优先 权，所述临时申请案在此以全文引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及微机电系统(MEMS)和类似装置，例如静态干涉式装置。

背景技术

微机电系统包括微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/或其它蚀刻 掉衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加工工艺来 产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使用，术语干 涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉原理选择性地吸收且/或反射光 的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包含一对导电板，其中之一或两者可能整体 或部分透明且/或具有反射性，且能够在施加适当电信号时进行相对运动。在特定实施例 中，一个板可包含沉积在衬底上的固定层，且另一个板可包含通过气隙与固定层分离的 金属薄膜。如本文更详细描述，一个板相对于另一个板的位置可改变入射在干涉式调制 器上的光的光学干涉。在另一实施例中，两个板均相对于彼此固定以形成干涉式堆叠。 这些装置具有广泛范围的应用，且在此项技术中，利用且/或修改这些类型装置的特性以 使得其特征可被发掘用于改进现有产品和创建尚未开发的新产品，将是有益的。

发明内容

在一个实施例中，提供一种组合件，其包括：干涉式调制器堆叠，其包括：吸收器 层，其至少部分透射入射光；反射层，其相对于所述吸收器层固定；以及间隔物层，其 安置于所述吸收器层与所述反射层之间且在所述干涉式调制器堆叠内界定干涉式间隙； 以及纹理化层，其安置于所述吸收器层的与所述反射层相对的侧上。

在另一实施例中，提供一种光学结构，其包括：显示器元件，其中所述显示器元件 所反射的光波长依据观看角度而变；以及上覆层，其包括具有大致随机纹理的表面，其 中所述纹理化表面形成具有第一折射率的第一材料与具有第二折射率的第二材料之间 的边界，且其中所述显示器元件所反射的光在所述纹理化表面处折射以改变所述显示器 元件上的有效观看角度。

在另一实施例中，提供一种显示器元件，其包括：干涉式调制器，所述干涉式调制 器包括：吸收器；以及反射器，其下伏于所述吸收器层下方；以及额外层，其包含至少 一个光学特征，所述额外层上覆于所述干涉式调制器的均匀部分上方，其中所述吸收器 层与所述反射器分离大致均匀的距离，其中从所述均匀部分中的第一点反射到观看者的 光包含第一峰值波长的光，且从所述均匀部分中的第二点反射到所述观看者的光包含第 二峰值波长的光，所述第一峰值波长不同于所述第二峰值波长，其中所述第一或第二峰 值波长的光均不包含另一者的谐波。

在一个实施例中，提供一种光学结构，其包括：用于干涉式调制光的装置，其中所 述调制装置所反射的色彩依据观看角度而改变；以及用于折射所述调制装置所反射的光 以改变所述调制装置上的有效观看角度的装置。

附图说明

专利或申请案文件含有以色彩实行的至少一个图式。专利局将根据要求且收取必要 费用来提供本专利或专利申请公开案的具有彩色图式的复本。

图1是描绘干涉式调制器显示器的一个实施例的一部分的等角视图，其中第一干涉 式调制器的可移动反射层处于松弛位置，且第二干涉式调制器的可移动反射层处于激活 位置。

图2是说明并入有3×3干涉式调制器显示器的电子装置的一个实施例的系统框图。

图3是图1的干涉式调制器的一个示范性实施例的可移动镜位置对所施加电压的 图。

图4是可用以驱动干涉式调制器显示器的一组行和列电压的说明。

图5A说明图2的3×3干涉式调制器显示器中的显示数据的一个示范性帧。

图5B说明可用以写入图5A的帧的行和列信号的一个示范性时序图。

图6A和图6B是说明包含多个干涉式调制器的视觉显示器装置的实施例的系统框 图。

图7A是图1的装置的横截面。

图7B是干涉式调制器的替代实施例的横截面。

图7C是干涉式调制器的另一替代实施例的横截面。

图7D是干涉式调制器的又一替代实施例的横截面。