[发明专利]流体喷射器装置

权利要求书

1.一种流体喷射器装置(10)，其包括：

流体喷嘴层(12)，限定了其中的孔口(14)；和

至少一环氧树脂层(16)，其建立在喷嘴层(12)上，至少一环氧树脂层 (16)具有这样的氟梯度，其中在环氧树脂层(16)的表面(S)存在的氟化物 质(F)的数量大于相邻于流体喷嘴层(12)存在的氟化物质(F)的数量；

其中至少一环氧树脂层(16)的接触角高于流体喷嘴层(12)的接触角。

2.权利要求1的流体喷射器装置(10)，其中环氧树脂层(16)包括光 可成像的环氧树脂，光可成像的聚硅氧烷，光可成像的聚酰亚胺，聚降 冰片烯，三甲苯基光致抗蚀剂，或其组合。

3.权利要求2的流体喷射器装置(10)，其中环氧树脂层(16)包括光 可成像的环氧树脂并且还包括2-丙酮和1，3-二氧戊环的溶剂体系。

4.权利要求2的流体喷射器装置(10)，其中环氧树脂层(16)包括光 可成像的聚硅氧烷并且还包括均三甲苯的溶剂体系。

5.权利要求1的流体喷射器装置(10)，其中氟化物质(F)选自缩水 甘油基四氟丙醚，缩水甘油基八氟戊醚，缩水甘油基十二氟庚醚，缩水 甘油基十六氟壬醚，十七氟壬基环氧乙烷，十二氟-6-(三氟甲基)庚基环 氧乙烷，全氟烷基乙烯基醚，疏水的氟聚合物，和其组合。

6.权利要求1的流体喷射器装置(10)，其中至少一环氧树脂层(16) 的厚度为2微米至6微米。

7.权利要求1的流体喷射器装置(10)，其中流体喷嘴层(12)的接触 角为15°至60°，和其中至少一环氧树脂层(16)的接触角为110°至130°。

8.权利要求1的流体喷射器装置(10)，其中环氧树脂层(16)是耐随 后的工艺的，所述随后的工艺选自灰光、化学侵蚀、机械攻击、和其组 合。

9.一种形成流体喷射器装置(10)的方法，其包括：

提供流体喷嘴层(12)，其具有限定于其中的孔口(14)；和

在建立在流体喷嘴层(12)上的环氧树脂层(16)中形成氟梯度，由此在 环氧树脂层(16)的表面(S)存在的氟化物质(F)的数量大于相邻于流体喷 嘴层(12)存在的氟化物质(F)的数量。

10.权利要求9的方法，进一步包括：

将环氧树脂层(16)暴露于至少一种随后的制造工艺，由此降低环氧 树脂层(16)的表面能；和

重建环氧树脂层(16)的表面能。

11.权利要求10的方法，其中重建是通过加热环氧树脂层(16)到范 围为从150℃至低于环氧树脂层(16)中的环氧树脂的固化温度20℃的温 度达30分钟至90分钟的时间周期而完成的。

12.权利要求10的方法，其中至少一种随后的制造工艺选自灰光、 TMAH湿法蚀刻、薄片割缝、薄片锯切、热循环、机械磨蚀、高压喷水、 轻敲、或其组合。

13.权利要求9的方法，其中形成氟梯度是通过下述方式实现的：

添加预定量的氟化物质(F)至光可成像的环氧树脂，由此形成环氧树 脂层(16)；和

将环氧树脂层(16)暴露于预定温度，由此至少一些氟化物质(F)迁移 到环氧树脂层(16)的表面(S)。

14.权利要求9的方法，其中环氧树脂层(16)与流体喷嘴层(12)同时 形成，或者在流体喷嘴层(12)后形成。

15.权利要求14的方法，其中环氧树脂层(16)与流体喷嘴层(12)同 时形成，并且其中环氧树脂层(16)和流体喷嘴层(12)是通过干膜制造形成 的；或者其中环氧树脂层(16)是在流体喷嘴层(12)后形成的，并且其中环 氧树脂层(16)是通过层压、干法涂布、旋转涂布、幕帘涂布、或其组合 而建立的。