[发明专利]将基板置中设置于处理室内的设备及方法

权利要求书

1.一种用于将基板定位于处理室中的设备，包含：

基板支撑件，具有承接所述基板的支撑表面；以及

多个置中构件，配置以相对于基本上垂直于所述支撑表面的参考轴而置中 设置所述基板，其中所述多个置中构件沿着所述支撑表面的外围可移动地配 置，所述多个置中构件的每一个经由轴杆而枢转地安装于所述基板支撑件上， 且所述多个置中构件的每一个都包含：

第一端部，配置以接触所述基板的外围边缘，其中所述第一端部可以 在第一位置及第二位置之间移动，由所述第一位置向所述第二位置的移动导致 所述置中构件脱离所述基板的所述外围边缘，以及由所述第二位置向所述第一 位置的移动导致所述置中构件在朝向所述参考轴的方向推动所述基板；以及

与所述轴杆为偏心设置的加重端部分，其中所述加重端部分包括质量 密度较大的内嵌材料，所述第一端部及所述加重部分设置于所述轴杆的相对侧 上，且所述加重部分配置以偏置所述置中构件至所述第一位置。

2.如权利要求1所述的设备，还包含对向构件，配置以作用于所述多个置 中构件的每一个以移动所述第一端部。

3.如权利要求2所述的设备，其中所述多个置中构件还包括末端分叉部， 所述末端分叉部相对于所述轴杆而与所述加重端部分相对设置，所述对向构件 接触所述末端分叉部，以使每一置中构件的第一端部自所述基板脱离。

4.如权利要求2所述的设备，其中所述对向构件配置以将所述多个置中构 件的每一个的所述第一端部朝向所述第二位置移动，且所述多个置中构件的每 一个独立地朝向所述第一位置偏置，且来自所述多个置中构件的偏置力的总和 将所述基板相对于所述参考轴置中设置。

5.如权利要求1所述的设备，其中所述内嵌材料的质量介于10克至500克 之间。

6.如权利要求2所述的设备，其中所述对向构件包含耦接至电动机的可移 动构件。

7.如权利要求2所述的设备，其中所述对向构件设置在所述多个置中构件 的下方，所述对向构件接触所述加重部分，以使所述多个置中构件的每一个的 第一端部脱离与所述基板的接触。

8.一种用于将基板置中设置于处理室内的方法，包含：

提供基板支撑件，所述基板支撑件具有承接基板的支撑表面；

提供多个置中构件，所述多个置中构件沿着以基本上垂直于所述支撑表面 的参考轴为中心的圆而配置，其中所述多个置中构件的每一个包含：

端部，所述端部配置以接触基板的外围边缘，其中所述端部可径向地 朝向及远离所述参考轴而移动；和

加重端部分，所述加重端部分包括质量密度较大的内嵌材料，其中所 述加重部分配置以偏置所述置中构件的端部朝向基板的外围边缘；

移动所述多个置中构件的每一个的所述端部而使其径向地向外且远离所 述参考轴；

将所述基板放置于所述基板支撑件上，其中所述基板及所述多个置中构件 不会接触；

移动所述多个置中构件的每一个的所述端部，而使其径向地向内以接触所 述基板的外围边缘，而将所述基板置中设置；以及

以所述多个置中构件的所述端部来定位所述基板。

9.如权利要求8所述的方法，其中移动所述多个置中构件的每一个的所述 端部的步骤包含围绕安装于所述基板支撑件上的轴杆而枢转所述多个置中构 件的每一个。

10.如权利要求9所述的方法，其中移动所述多个置中构件的每一个的所 述端部而使其径向地向内的步骤包含将偏心地耦接至所述置中构件的加重部 分由所述轴杆而释放；以及移动所述多个置中构件的每一个的所述端部而使其 径向地向外的步骤包含用对向构件而使所述加重部分升高。