[发明专利]防静电用具

权利要求书

1.一种防静电用具，其中，具备：

支承部件、

在所述支承部件的至少一面侧形成的导电层、

下端具有凸缘部且以所述凸缘部与所述导电层的一面相接的方式 贯穿所述支承部件的端子部、

覆盖所述凸缘部的整个下面的覆盖层、以及

在所述覆盖层和所述导电层上层叠的导电性胶粘剂层，

其中，所述导电性胶粘剂层的电阻率在5×10²～1×10⁶Ωcm的范围。

2.一种防静电用具，其中，具备：

支承部件、

在所述支承部件的至少一面侧形成且相互分离的两个导电层、

下端具有凸缘部且以所述凸缘部与所述两个导电层的每个的一面 分别相接的方式贯穿所述支承部件的两个端子部、

覆盖所述凸缘部的整个下面的覆盖层、以及

在所述覆盖层和所述两个导电层上层叠且相互分离的两个导电性 胶粘剂层，

其中，所述导电性胶粘剂层的电阻率在5×10²～1×10⁶Ωcm的范围。

3.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述导电性胶粘剂 层是由导电性高分子含水凝胶形成的层。

4.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述导电性胶粘剂 层的表面积为3～300cm²。

5.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述导电性胶粘剂 层是由基本上不含硫、硅和锡元素与卤化物的离子且它们的浓度小于 1000ppm的导电性高分子含水凝胶形成的层。

6.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述防静电用具根 据JIS B9921的测定法得到的0.1μm以上的尘埃的量为100个/立方英 尺以内。

7.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述端子部由导电 性按扣和导电部构成，所述导电性按扣具有凸部、与凸部相对应的凹部 以及在凸部下端的凸缘部，所述导电部具有与所述导电性按扣的凹部嵌 合且通过铆接而能将导电性按扣卡定的凸部以及在凸部下端的凸缘部。

8.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述防静电用具是 用于防止作业人员在对半导体器件、半导体器件搭载电路、信息记录设 备、粉尘及化学物质进行处理作业时带上静电的用具。

9.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述支承部件由选 自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、尼龙、乙烯- 乙酸乙烯酯共聚物、天然橡胶、异戊二烯橡胶、丁二烯橡胶、硅酮橡胶、 苯乙烯-丁二烯橡胶中的材料形成，具有对粘附面的追随性。

10.根据权利要求2所述的防静电用具，其中，所述两个导电层分 开的距离为导电性胶粘剂层厚度的2倍以上。