[发明专利]射频加热装置的电源

权利要求书

1.一种射频发生器的电源，该电源包括：第一开关式电源装置，以及通 过直流母线装置与所述第一开关式电源装置串联的第二开关式电源装置，在 所述第一开关式电源装置的输出端之间以及所述第二开关式电源装置的输 入端之间连接有电容器装置，所述第二开关式电源装置的输出端连接到升压 变压器装置的输入端，所述升压变压器装置的输出端连接到整流器装置的输 入端，所述整流器装置的输出端能够连接到所述射频发生器装置，其中，所 述第一开关式电源装置的输入端能够连接到主电源输入端，以设置所述射频 发生器的工作电压和峰值电流水平，并且，所述第二开关式电源装置被布置 成向所述升压变压器装置供电，并以可变的占空比和/或可变的频率工作，以 向所述射频发生器提供平均功率控制。

2.如权利要求1所述的电源，其中，所述整流器装置的输出端连接到所 述射频发生器装置，并且在所述整流器装置与所述射频发生器装置之间没有 滤波装置或平滑装置，因此电源仅存储最少的能量，使得所述第二开关式电 源装置可以被快速切断。

3.如权利要求2所述的电源，其中，所述第二开关式电源装置能够在两 微秒内被切断。

4.如权利要求1所述的电源，进一步包括控制装置，该控制装置被布置 成对通过所述射频发生器的电流进行监控，并被布置成控制所述第一和第二 开关式电源装置。

5.如权利要求1所述的电源，具有至少为0.98的功率因数。

6.如权利要求1所述的电源，被布置成对所述主电源输入造成的谐波失 真小于4％。

7.如权利要求4所述的电源，被布置成向磁控管射频发生器供电，并且 包括用于为所述磁控管的加热器供电的加热器供电装置，其中所述控制装置 被布置成对所述加热器供电装置进行控制。

8.如权利要求4所述的电源，其中所述控制装置被布置成，在所述控制 装置检测到通过所述射频发生器的功率发生急变时切断所述第二开关式电 源装置，并且随后接通所述第二开关式电源装置。

9.如权利要求4所述的电源，其中，为所述控制装置配备幅度控制装置 和占空比控制装置。

10.如权利要求4所述的电源，进一步包括用于向所述射频发生器施加 磁场的磁场发生装置，其中，所述控制装置被布置成对所述磁场发生装置进 行控制。

11.如权利要求4所述的电源，进一步包括用于将所述主电源输入端切 换到所述第一开关式电源装置的接触器装置，其中，所述接触器装置被布置 成由所述控制装置对该接触器装置进行控制。

12.如权利要求1所述的电源，被布置成用于三相主电源输入。

13.如权利要求1所述的电源，被布置成使其工作时的峰值功率与平均 功率的比值在1到100的范围内。