[发明专利]AI-Ti-Ru-N-C硬质材料涂层

权利要求书

1.一种含有Al和Ti的单层或多层的氮化或碳氮化硬质材料涂 层，该涂层的特征在于：至少一个涂层具有以下组成，

(Al_xTi_yRu_zMe_v)(N_aC_1-a)，其中

0.45≤x≤0.75；

0.2≤y≤0.55；

0.001≤z≤0.1；

0≤v≤0.2

0.9≤(x+y+z+v)≤1.1

0.8≤a≤1.0；

其中Me为选自由Si、B、W、Mo、Cr、Ta、Nb、V、Hf和Zr 所组成的组中的一种或多种元素，并且v为这些元素的总含量。

2.根据权利要求1所述的硬质材料涂层，其特征在于： x+y+z+v＝1。

3.根据权利要求1或2所述的硬质材料涂层，其特征在于：v＝0。

4.根据权利要求1或2所述的硬质材料涂层，其特征在于：

对于Si、B而言，0.001≤v≤0.01

对于Cr、Mo、W而言，0.01≤v≤0.1

对于V、Nb、Ta、Zr、Hf而言，0.01≤v≤0.2。

5.根据权利要求1或2所述的硬质材料涂层，其特征在于：0.9 ≤a≤1。

6.根据权利要求5所述的硬质材料涂层，其特征在于a＝1。

7.根据权利要求1或2所述的硬质材料涂层，其特征在于：主 要晶体结构为立方结构。

8.根据权利要求1或2所述的硬质材料涂层，其特征在于：0.005 ≤z≤0.06。

9.根据权利要求1所述的硬质材料涂层，其特征在于：所述涂 层具有多层结构。

10.根据权利要求9所述的硬质材料涂层，其特征在于：其中 0.001≤z≤0.1的层与其中z＝0的层交替层叠。

11.根据权利要求10所述的硬质材料涂层，其特征在于：其中 0.62≤x≤0.72、0.27≤y≤0.39、0.005≤z≤0.05、v＝0的层与其中0.45 ≤x≤0.55、0.45≤y≤0.55、z＝0、v＝0的层交替层叠。

12.根据权利要求9至11中任意一项所述的硬质材料涂层，其 特征在于：所述多层结构的各层的厚度分别为5nm至30nm。

13.根据权利要求10或11所述的硬质材料涂层，其特征在于： 其中z＝0的层的晶体结构为立方结构。

14.根据权利要求1至13中任意一项所述的硬质材料涂层用于 涂敷立方氮化硼的用途。

15.根据权利要求1至13中任意一项所述的硬质材料涂层用于 涂敷硬质合金的用途。

16.一种具有根据权利要求1至9中任意一项所述的硬质材料涂 层的车刀，其特征在于：0.01≤z≤0.06，并且所述涂层的厚度为3μm 至14μm。

17.一种具有根据权利要求1至9中任意一项所述的硬质材料涂 层的铣刀，其特征在于：0.005≤z≤002，并且所述涂层的厚度为2μm 至8μm。

18.一种制造根据权利要求1至13中任意一项所述的硬质材料 涂层的方法，其特征在于：通过PVD沉积所述涂层。