[发明专利]用于高温应用的层叠抛光垫无效
| 申请号： | 200880021244.0 | 申请日： | 2008-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN101687307A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 阿巴尼什沃尔·普拉萨德;迈克尔·莱西;罗兰·塞维勒;凯利·纽厄尔 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;H01L21/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋 莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 高温 应用 层叠 抛光 | ||
1.一种用于化学机械抛光的抛光垫，其包括：
抛光层，
底层，其中该底层与该抛光层基本上共同延伸，
热熔性粘合剂，其中该热熔性粘合剂将该抛光层与该底层接合在一起， 且该热熔性粘合剂包含2～18重量％的EVA，当该抛光层达到40℃的温度时， 该热熔性粘合剂基本上耐分层。
2.权利要求1的抛光垫，其中当该抛光层达到60℃的温度时，该热熔 性粘合剂基本上耐分层。
3.权利要求2的抛光垫，其中当该抛光层达到80℃的温度时，该热熔 性粘合剂基本上耐分层。
4.权利要求3的抛光垫，其中当该抛光层达到100℃的温度时，该热熔 性粘合剂基本上耐分层。
5.权利要求1的抛光垫，其中该热熔性粘合剂包含12至16重量％的 EVA。
6.权利要求1的抛光垫，其中该热熔性粘合剂包含5至11重量％的 EVA。
7.权利要求1的抛光垫，其中该抛光层和该底层均包括光学终点检测 口，且其中所述各光学终点检测口基本对准。
8.权利要求1的抛光垫，其中该抛光垫进一步包括设置于该抛光层与该 底层之间的一个或多个中间层，且其中该抛光层、该底层以及该一个或多个 中间层均基本上共同延伸且用热熔性粘合剂接合在一起。
9.权利要求8的抛光垫，其中该抛光垫的每层均包括光学终点检测口， 且其中所述各光学终点检测口基本对准。
10.权利要求1的抛光垫，其中该热熔性粘合剂的固持力使得在1kg负 载的应力下，该热熔性粘合剂在40℃下1小时后移动0.2mm或更少。
11.权利要求10的抛光垫，其中该热熔性粘合剂的固持力使得在1kg 负载的应力下，该热熔性粘合剂在40℃下24小时后移动0.5mm或更少。
12.权利要求11的抛光垫，其中该热熔性粘合剂的固持力使得在1kg 负载的应力下，该热熔性粘合剂在40℃下24小时后移动0.3mm或更少。
13.权利要求1的抛光垫，其中该热熔性粘合剂的固持力使得在1kg负 载的应力下，该热熔性粘合剂在60℃下1小时后移动0.2mm或更少。
14.权利要求13的抛光垫，其中该热熔性粘合剂的固持力使得在1kg 负载的应力下，该热熔性粘合剂在60℃下24小时后移动0.5mm或更少。
15.权利要求1的抛光垫，其中该热熔性粘合剂的固持力使得在1kg负 载的应力下，该热熔性粘合剂在80℃下1小时后移动0.5mm或更少。
16.权利要求15的抛光垫，其中该热熔性粘合剂的固持力使得在1kg 负载的应力下，该热熔性粘合剂在80℃下24小时后移动1mm或更少。
17.权利要求16的抛光垫，其中该热熔性粘合剂的固持力使得在1kg 负载的应力下，该热熔性粘合剂在80℃下24小时后移动0.8mm或更少。
18.权利要求1的抛光垫，其中该热熔性粘合剂的固持力使得在1kg负 载的应力下，该热熔性粘合剂在100℃下1小时后移动0.5mm或更少。
19.权利要求18的抛光垫，其中该热熔性粘合剂的固持力使得在1kg 负载的应力下，该热熔性粘合剂在100℃下24小时后移动1.5mm或更少。
20.权利要求19的抛光垫，其中该热熔性粘合剂的固持力使得在1kg 负载的应力下，该热熔性粘合剂在100℃下24小时后移动1.2mm或更少。
21.权利要求1的抛光垫，其中该热熔性粘合剂的熔融指数为 4g/10min～400g/10min。
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