[发明专利]观察装置和方法

权利要求书

1.一种观察装置，其特征在于，具备，

显微镜，其具有包括物镜的光学系统，将观察对象物放大而进行 观察；

固体浸没透镜保持器，其保持被配置于所述物镜的光轴上的固体 浸没透镜；

振动发生机构，其使被保持于所述固体浸没透镜保持器上的所述 固体浸没透镜振动；

振动控制机构，其控制所述振动发生机构，使所述固体浸没透镜 振动；以及

接触检测机构，其检测所述固体浸没透镜对所述观察对象物的接 触，

在通过所述接触检测机构而检测出所述固体浸没透镜对所述观察 对象物的接触时，所述振动控制机构控制所述振动发生机构，使所述 固体浸没透镜振动。

2.如权利要求1所述的观察装置，其特征在于，

还具备，

照明机构，其对所述观察对象物照射光；

图像取得机构，其在通过所述照明机构向着所述观察对象物照射 光时，取得来自所述固体浸没透镜或所述观察对象物的反射光像；以 及

解析机构，其对由所述图像取得机构所取得的反射光像进行解析，

所述振动控制机构根据由所述解析机构得到的所述反射光像的解 析结果，控制所述振动发生机构，使所述固体浸没透镜振动。

3.如权利要求2所述的观察装置，其特征在于，

所述解析机构具有取得由所述照明机构所照射的光的入射光量的 机构、以及将所述反射光像的反射光量对所述入射光量的比率与规定 值进行比较的机构，

所述振动控制机构根据所述反射光量对所述入射光量的比率与规 定值的比较结果，控制所述振动发生机构，使所述固体浸没透镜振动。

4.一种观察方法，其特征在于，包括下述工序，

准备观察装置的工序，该观察装置具备显微镜、固体浸没透镜保 持器、振动发生机构、振动控制机构和接触检测机构，所述显微镜具 有包括物镜的光学系统，将观察对象物放大而进行观察，所述固体浸 没透镜保持器保持被配置于所述物镜的光轴上的固体浸没透镜，所述 振动发生机构使被保持于所述固体浸没透镜保持器上的所述固体浸没 透镜振动，所述振动控制机构控制所述振动发生机构而使所述固体浸 没透镜振动，所述接触检测机构检测所述固体浸没透镜对所述观察对 象物的接触；

通过所述振动发生机构而使被保持于所述固体浸没透镜保持器上 的所述固体浸没透镜振动，并且使所述固体浸没透镜紧贴于所述观察 对象物的工序；以及

在所述固体浸没透镜紧贴于所述观察对象物之后，通过所述显微 镜来对所述观察对象物进行观察的工序，

在使所述固体浸没透镜紧贴于所述观察对象物的工序中，在通过 所述接触检测机构而检测出所述固体浸没透镜对所述观察对象物的接 触时，所述振动控制机构控制所述振动发生机构，使所述固体浸没透 镜振动。