[发明专利]固体浸没透镜保持器

说明书

技术领域

本发明涉及保持固体浸没透镜的固体浸没透镜保持器。

背景技术

作为放大观察对象物的图像的透镜，已知有固体浸没透镜 (SIL：Solid Immersion Lens)。固体浸没透镜是半球形状或所谓维尔斯特 拉斯(Weierstrass)球的超半球形状，大小为1mm～5mm左右的微小 透镜。并且，将该固体浸没透镜紧贴于观察对象物的表面而设置时， 数值孔径(NA)和倍率都会被放大，因而可以在高空间分解能力下进 行观察。

作为保持这样的固体浸没透镜的固体浸没透镜保持器(holder)， 例如已知有专利文献1所记载的固体浸没透镜保持器。专利文献1所 记载的固体浸没透镜保持器构成为经由臂部件而连结于物镜的前端 部，并将固体浸没透镜保持于物镜的前面侧。

专利文献1：国际公开第2005/043210号小册子

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在如上述现有技术那样利用固体浸没透镜来观察观察对象 物之际，固体浸没透镜和观察对象物没有良好地紧贴时，难以获得固 体浸没透镜和观察对象物之间的光学耦合(渐逝波(evanescent)耦合)。

本发明的目的在于提供能够提高固体浸没透镜和观察对象物之间 的紧贴性的固体浸没透镜保持器。

解决问题的方法

本发明的特征为：是保持配置于物镜的前面侧的固体浸没透镜的 固体浸没透镜保持器；并且具备：保持器主体，其具有不固定固体浸 没透镜而将其保持为自由的状态的透镜保持部；以及振动发生部，其 使保持器主体振动。

在这样的本发明的固体浸没透镜保持器中，由于固体浸没透镜相 对于透镜保持部不固定而被保持为自由的状态，因而在利用固体浸没 透镜观察观察对象物之际，固体浸没透镜容易紧贴于观察对象物。但 是，有可能因例如透镜保持部及观察对象物的加工状态等而妨碍固体 浸没透镜相对于透镜保持部的自由的移动，不能获得固体浸没透镜和 观察对象物之间的良好的紧贴。在该情况下，通过振动发生部使保持 器主体发生振动，从而将该振动从透镜保持部传播至固体浸没透镜， 使固体浸没透镜摇动而沿着观察对象物的表面并紧贴。于是，能够实 现固体浸没透镜和观察对象物之间的良好的紧贴。

发明的效果

根据本发明，能够提高固体浸没透镜和观察对象物之间的紧贴性。 于是，可以获得固体浸没透镜和观察对象物之间的光学耦合(渐逝波 耦合)。

附图说明

图1是适用本发明所涉及的固体浸没透镜保持器的一个实施方式 的半导体检查装置的构成图。

图2是表示图1所示的显微镜的物镜和固体浸没透镜保持器的构 成的剖面图。

图3是图2所示的物镜和固体浸没透镜保持器的立体图。

图4是图2所示的保持器主体的分解立体图。

图5是表示图4所示的固体浸没透镜被透镜保持部保持的状态的 放大剖面图。

图6是图2所示的物镜插座的剖面图。

图7是图6所示的物镜插座的平面图、侧面图(含局部剖面)和 背面图。

图8是图6所示的部件位置检测部的构成图。

图9是表示图8所示的部件位置检测部和固体浸没透镜保持器的 动作的剖面图。

图10是图1所示的解析部的功能框图。

图11是表示在取得半导体组件的观察图像之际由解析部执行的处 理程序的详细的流程图。

图12是表示作为变形例的其它的固体浸没透镜保持器的剖面图。

图13是表示固体浸没透镜保持于图12所示的透镜保持部件的状 态的放大剖面图。

图14是与物镜一起表示作为变形例的又一其它的固体浸没透镜保 持器的立体图。

符号的说明

6…固体浸没透镜、8…保持器主体、9…物镜插座、21…物镜、60… 透镜保持部、61…透镜保持部件、62a…透镜承受面、120…振动发生 部、160…保持器主体、200…固体浸没透镜保持器

具体实施方式

以下，与附图一起对本发明所涉及的固体浸没透镜保持器的最佳 实施方式进行说明。在此，在各图中，对同一要素标记同一符号，省 略重复的说明。