[发明专利]碳纳米管成膜方法、成膜装置及碳纳米管薄膜有效
| 申请号： | 200880020917.0 | 申请日： | 2008-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN101707904A | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 斎藤毅 | 申请（专利权）人： | 独立行政法人产业技术总合研究所 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 管成膜 方法 装置 薄膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳纳米管成膜方法，其特征在于：利用流动气相化学气相沉 积法而将原料源合成为碳纳米管，在连结于反应管的腔室内，在200℃以 下使合成的所述碳纳米管直接附着于元件用基板上，从而在所述元件用基 板上直接成膜。
2.一种碳纳米管成膜装置，其特征在于：连结于利用流动气相化学 气相沉积法而将原料源合成为碳纳米管的反应管而设置着腔室，在腔室内 在200℃以下使所述碳纳米管直接附着于元件用基板上。
3.一种碳纳米管薄膜，其特征在于：利用流动气相化学气相沉积法而将 原料源合成为碳纳米管，在连结于反应管的腔室内，在200℃以下使合成的 所述碳纳米管直接附着于元件用基板上，从而在所述元件用基板上直接成膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于独立行政法人产业技术总合研究所，未经独立行政法人产业技术总合研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200880020917.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
