[发明专利]光谱计装置

权利要求书

1.光谱计装置(10)，它具有光谱计，用于在探测器(34) 上产生来自辐射源的辐射的光谱，它包含有

(a)成像的、光学的利特罗装置(18，20)，用于使进入光谱 计装置里的辐射(16)成像在图像平面里，

(b)第一分散装置(28，30)，用于对进入光谱计装置里的辐 射的第一波长范围(72)进行光谱分解，

(c)第二分散装置(58，60)，用于对进入光谱计装置里的辐 射的第二波长范围(70)进行光谱分解，

(d)共同的布置在成像光学机构的图像平面里的探测器(66)，

(e)在两个位置之间可运动的元件(20)，其中射入到光谱计 装置里的辐射在第一位置上通过第一分散装置、而在第二位置上通过 第二分散装置进行传导，

其特征在于，

(f)在两个位置之间可运动的所述元件是偏离轴抛物线反射镜 (20)，它通过旋转运动可以从第一位置运动到第二位置上，并且

偏离轴线的旋转轴线(42)延伸通过所述偏离轴抛物线反射镜 的焦点，其中一个波长在入射和出射的辐射之间的偏转角的值(46， 48)在第一和第二位置上相等。

2.按权利要求1所述的光谱计装置，其特征在于，第一分散装 置可以布置在由入射间隙、凹面反射镜和探测器、或它们的中心点所 确定的平面之外，而第二分散装置则布置在这个平面之外的另一侧。

3.按上述权利要求之一所述的光谱计装置，其特征在于，第一 和/或第二分散装置包括有中阶梯光栅(28，58)和另一个横向于中 阶梯光栅的分散方向起作用的分散元件(30，60)。

4.按上述权利要求之一所述的光谱计装置，其特征在于，在图 像平面(34)里设有表面探测器，该表面探测器具有许多探测器元件 的二维装置。

5.按上述权利要求之一所述的光谱计装置，其特征在于，分散 装置的元件的光学性能关于配属的波长范围进行了优化。

6.按权利要求1所述的光谱计装置，其特征在于，第一分散装 置是具有中阶梯光栅的二维的分散装置，而第二分散装置是一维的分 散装置，因此在探测器上除了光谱分辨率之外，也可以在入射间隙处 探测位置分辨率。

将来自辐射源的辐射在选出的波长范围里进行光谱分解的方法，具 有以下步骤：

(a)对于光谱计装置的入射间隙进行照射；

(b)借助于在利特罗装置里的成像的光学的装置使辐射成像在 图像平面上；

(c)采用分散装置使辐射分散，其中取决于波长范围，用第一 或第二分散装置使辐射分散；和

(d)在图像平面里，探测所选出的波长范围的辐射，

其中，

(e)在两个位置之间可以活动的元件取决于所选出的波长范围 被调整，从而使进入光谱计装置的辐射在第一位置上通过第一分散装 置、而在第二位置上通过第二分散装置来导引，

其特征在于，

(f)所述在两个位置之间可以活动的元件是偏离轴抛物线反射 镜，它通过旋转运动可以从第一位置运动到第二位置上，并且

(g)偏离轴线的旋转轴线(42)延伸通过所述偏离轴抛物线反 射镜的焦点，其中一个波长在入射和出射的辐射之间的偏转角的值 (46，48)在第一和第二位置上相等。