[发明专利]喷涂沉积加热器元件

权利要求书

1.一种用于形成加热器的方法，其包含：

将分级材料沉积在衬底的至少一部分上；

将电阻性材料沉积在所述衬底的至少一部分上，其中所述电阻性材料包括第一电 阻性成分和第二电阻性成分的混合物，其中所述第一电阻性成分具有第一电阻率ρ₁且所述第二电阻性成分具有电阻率ρ₂，其中ρ₁≠ρ₂；以及

将热障介电材料沉积在所述衬底的至少一部分上；以及

在将所述第一和所述第二电阻性成分沉积在所述衬底的至少一部分上之前，混合 所述第一和所述第二电阻性成分。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：通过热喷涂来沉积所述第一和第二电阻性成分。

3.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含：制备所述衬底的表面。

4.根据权利要求1所述的方法，其中：沉积所述电阻性材料进一步包含改变所述第一 和第二电阻性成分在所述衬底的至少一部分上的重量百分比。

5.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含：在将所述第一和所述第二电阻性成分 喷涂到所述衬底的至少一部分上之前，混合所述第一和第二电阻性成分。

6.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含：在将所述第一和所述第二电阻性成分 喷涂到所述衬底上之后，混合所述第一和第二电阻性成分。

7.根据权利要求1所述的方法，其中：所述第一和第二电阻性成分包括相同的基本材 料，且通过用第一气体沉积所述第一电阻性成分且用第二气体沉积所述第二电阻性 成分来更改所述第一和所述第二电阻性成分的所述电阻率。

8.根据权利要求1所述的方法，其中：通过电子束来沉积所述第一和第二电阻性成分。

9.一种加热器，其包含：

被沉积在衬底的至少一部分上的分级材料；

被沉积在所述衬底的至少一部分上的电阻性材料，其中所述电阻性材料包括第一 电阻性成分和第二电阻性成分的混合物，其中所述第一电阻性成分具有第一电阻率ρ₁且所述第二电阻性成分具有电阻率ρ₂，其中ρ₁≠ρ₂；以及

被沉积在所述衬底的至少一部分上的热障介电材料；以及

在所述第一和所述第二电阻性成分被沉积在所述衬底的至少一部分上之前，所

述第一和所述第二电阻性成分被混合。

10.根据权利要求9所述的加热器，其中：

通过热喷涂来沉积所述第一和第二电阻性成分。

11.根据权利要求9所述的加热器，其中：

在将所述第一和所述第二电阻性成分喷涂到所述衬底的至少一部分上之前，所 述第一和第二电阻性成分被混合。

12.根据权利要求9所述的加热器，其中：

在将所述第一和所述第二电阻性成分喷涂到所述衬底上之后，所述第一和第二 电阻性成分被混合。

13.根据权利要求9所述的加热器，其中：

所述第一和第二电阻性成分包括相同的基本材料，且通过用第一气体沉积所述 第一电阻性成分且用第二气体沉积所述第二电阻性成分来更改所述第一和所述第二 电阻性成分的所述电阻率。

14.根据权利要求9所述的加热器，其中：

通过电子束来沉积所述第一和第二电阻性成分。

15.根据权利要求9所述的加热器，其中：

沉积所述电阻性材料进一步包含改变所述第一和第二电阻性成分在所述衬底的 至少一部分上的重量百分比。