[发明专利]多层光学滤波器设计及相关系统

说明书

相关申请交叉引用

本申请要求2007年4月25日提交的美国临时申请第60/913858号，名称为“THIN FILM FILTERS AND ASSOCIATED METHODS(薄膜滤波器及相关方法)”的优先权，并在此引用作为参考。

背景技术

先前的公开已讨论了优化薄膜滤波器组设计的各种方法，具体地，设计能兼容检测器制造过程的彩色滤波器中的各种方法。例如，先前公开的薄膜优化方法涉及在青、品红、黄(“CMY”)或红、绿、蓝(“RGB”)滤滤器组的特定对之间耦合，并优化性能(如例如名称为ELECTROMAGNETIC ENERGY DETECTION SYSTEMINCLUDING BURIED OPTICS，2006年10月10日提交的美国临时申请60/850429所公开的)。

表1

表1是用于包括一组三个滤波器设计的示例性的CMY滤波器设计的总结。这些多层薄膜滤波器(包括第一、第二和第三滤波器)设计的示例，在表1中分别被根据每个滤波器的单色带通光学响应而指定为青、品红、黄。每个滤波器设计被提供为有序的层堆(ordered stackof layers)，使得在表1中每层被指定为具有给定材料的给定物理厚度，如以下马上所要说明的。

表1中的“材料”栏指明了三种不同类别材料的有序堆叠，所述三种材料包括例如聚酰亚胺、UV氮化硅(“UV SiN”)以及BLACK(“BD”)1036A。在表1中层1-11被指定为以对所有三个滤波器相同的材料的特定顺序排列在PE-OX 11K基底上。注意表1(以及后续包括类似信息的表)中所示材料的顺序是以入射在其上的电磁能量遇到的顺序给出的。即，“层”栏中材料的顺序是以从上到下的顺序列出并编号的，使得UV SiN的层1对应于三个物理滤波器最后、或最上层，同时层11对应于实际制造滤波器的过程中直接沉积在基底上的第一层。

另外，为指明所有三个滤波器的材料的顺序，表1为每个滤波器的每个选定层指定了特定的厚度。例如，青色滤波器的层11在表1中被指定为由UV SiN组成，并具有厚度1093.0埃，品红滤波器的层11被指定为591.2埃厚的UV SiN层，而黄色滤波器的层11被指定为591.2埃厚的UV SiN层。尽管在表1中对于所有三个滤波器材料的顺序是相同的，但是给定材料的给定层的厚度却可在滤波器之间互不相同。这一点至少部分被总结在表1的“差”栏中，该栏列出多个分布在整个滤波器群上的相应编号的层对之间的厚度差。例如，在表1中在青色滤波器的层3与品红滤波器的层3之间的厚度差被指出为624.3埃。另外，分布在整个滤波器群的多个层对中的其它厚度差也被指出。例如，在青色滤波器与黄色滤波器之间具有多个厚度差，包括品红滤波器的层11与黄色滤波器的层11之间的厚度差501.8埃。