[发明专利]处理装置

权利要求书

1.一种处理装置，其特征在于，包括：

容纳被处理体并且由非磁性体构成的处理容器；

旋转悬浮体，其配置在所述处理容器的内部，并且支撑所述被处 理体；

悬浮用电磁铁组件，其配置在所述处理容器的外部，使磁吸引力 向垂直方向上方作用，以与所述处理容器的内壁非接触地悬吊的方式， 使所述旋转悬浮体悬浮；

位置用电磁铁组件，其配置在所述处理容器的外部，使磁吸引力 作用于悬浮的所述旋转悬浮体，控制水平方向位置；

旋转用电磁铁组件，其配置在所述处理容器的外部，使磁吸引力 作用于悬浮的所述旋转悬浮体，并使该旋转悬浮体旋转；和

处理机构，其对被支撑在所述旋转悬浮体上的被处理体实施规定 的处理，其中

所述悬浮用电磁铁组件具有：

被配置在所述处理容器的外部，并通过轭将背面侧连接的一对电 磁铁；和

一对电磁铁侧悬浮用强磁性体，其在所述处理容器的内部，在所 述一对电磁铁的各个的正面侧的下方，隔着规定间隙与悬浮体侧悬浮 用强磁性体相对配置，并且向所述悬浮体侧悬浮用强磁性体作用磁吸 引力，

由所述一对电磁铁、所述轭、所述一对电磁铁侧悬浮用强磁性体 和所述悬浮体侧悬浮用强磁性体形成闭合的磁回路。

2.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述旋转悬浮体具备在其侧方沿径向具有规定宽度的悬浮体侧悬 浮用强磁性体。

3.如权利要求2所述的处理装置，其特征在于：

所述悬浮体侧悬浮用强磁性体形成为平板的环状。

4.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述悬浮体侧悬浮用强磁性体形成为平板的环状，

所述电磁铁侧悬浮用强磁性体沿着所述悬浮体侧悬浮用强磁性体 在周方向上延展。

5.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述处理容器具有在其外壁向上开口并且从所述处理容器的外部 上方嵌合有所述一对电磁铁的有底孔，

所述电磁铁侧悬浮用强磁性体隔着所述有底孔内侧的薄壁，与所 述处理容器外部的所述一对电磁铁相对设置。

6.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述处理容器具有在其外壁沿垂直方向贯通并且从所述处理容器 的外部上方嵌合有所述一对电磁铁的贯通孔，

在所述贯通孔和所述一对电磁铁之间安装有密封部件，

所述电磁铁侧悬浮用强磁性体安装在所述处理容器外部的所述一 对电磁铁上。

7.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述悬浮用电磁铁组件，在所述旋转悬浮体的外周至少配置有3 个。

8.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

还具有检测所述旋转悬浮体的垂直方向的位置信息的垂直方向位 置传感器。

9.如权利要求8所述的处理装置，其特征在于：

还具有控制单元，其基于由所述垂直方向位置传感器检测出的所 述旋转悬浮体的垂直方向的位置信息，计算当前时刻的垂直方向位置、 倾斜度、变位速度和加速度，接着计算它们的最佳值，向所述悬浮用 电磁铁组件的电磁铁供给控制电流。

10.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述旋转悬浮体具备在其侧方沿垂直方向具有规定宽度的悬浮体 侧控制用强磁性体。

11.如权利要求10所述的处理装置，其特征在于：

所述悬浮体侧控制用强磁性体形成为圆筒状。