[发明专利]形状评价方法、形状评价装置及三维检查装置

权利要求书

1.一种对评价对象物的表面形状进行评价的形状评价方法，其 特征在于，具备：

形状识别步骤，识别评价对象物的表面形状；

代表点抽出步骤，从所识别的评价对象物的表面形状上抽出代表 点；

形状确定步骤，确定以所抽出的代表点为中心的预定范围的形 状；

矢量定义步骤，根据所述各代表点与照射光的光源的相对位置来 定义光源方向矢量；

代表点选择步骤，从所述各代表点中，仅选择与所定义的光源方 向矢量对应的假想反射矢量被包含在从假想地确定为视认方向的方 向的方向矢量起始的预定范围内的代表点；以及

高亮线作成步骤，将所选择的所述各代表点的集合作为高亮点 群，根据该高亮点群作成在评价对象物的表面上假想地产生的高亮 线，

所述形状评价方法根据作成的高亮线对评价对象物的表面形状 进行评价。

2.权利要求1所述的形状评价方法，其特征在于，在所述代表 点选择步骤中，仅选择由确定的形状所规定的平面与预定的方向矢量 成为平行的代表点。

3.权利要求1所述的形状评价方法，其特征在于，

所述高亮线作成步骤包含：对于高亮点群中的任意的高亮点，将 预定范围内包含的高亮点集中，并从这些高亮点的集合来确定直线方 向的步骤，

根据通过连接对各高亮线确定的直线方向而形成的折线作成高 亮线。

4.权利要求1所述的形状评价方法，其特征在于，改变假想地确 定为所述视认方向的方向，将用于对评价对象物的表面形状进行评价 的评价值成为最大或最小的方向确定为视认方向。

5.权利要求1所述的形状评价方法，其特征在于，所述形状识别 步骤，根据测量所述评价对象物的表面形状的结果而得到的测量值来 识别评价对象物的表面形状。

6.权利要求1所述的形状评价方法，其特征在于，所述形状识别 步骤，通过读取表示评价对象物的形状的假想的形状数据来识别评价 对象物的表面形状。

7.权利要求6所述的形状评价方法，其特征在于，所述代表点抽 出步骤，向假想地构成的评价对象物的形状数据投影一个包含等间隔 配置的点群的平面，将所述点群被投影在形状数据上的位置作为代表 点抽出。

8.权利要求6所述的形状评价方法，其特征在于，根据进行表面 形状的评价的结果来修正所述形状数据，再次进行评价。

9.一种评价对象物的表面形状的形状评价装置，其特征在于，

具备：

识别评价对象物的表面形状的单元；

从识别的评价对象物的表面形状上抽出代表点的单元；

确定以抽出的代表点为中心的预定范围的形状的单元；

根据所述各代表点与照射光的光源的相对位置来定义光源方向 矢量的单元；

从所述各代表点中，仅选择与所定义的光源方向矢量对应的反射 矢量被包含在从确定为视认方向的方向的方向矢量起始的预定范围 内的代表点的单元；

将所选择的所述各代表点的集合作为高亮点群，根据该高亮点群 作成在评价对象物的表面上假想地产生的高亮线的单元；和

根据作成的高亮线进行评价对象物的表面形状的评价的单元。

10.权利要求9所述的形状评价装置，其特征在于，所述识别评 价对象物的表面形状的单元根据测量检查对象物的表面形状的结果 得到的测量值来识别评价对象物的表面形状。

11.权利要求9所述的形状评价装置，其特征在于，所述识别评 价对象物的表面形状的单元根据存储在存储区中的假想地构成评价 对象物时的表面形状数据来识别评价对象物的表面形状。

12.一种对检查对象物的表面形状进行三维检查的三维检查方 法，包括测量检查对象物的表面形状的步骤，其特征在于，包括：

通过测量步骤识别检查对象物的表面形状的步骤；

从识别的检查对象物的表面形状上抽出代表点的步骤；

确定以抽出的代表点为中心的预定范围的形状的步骤；

根据所述各代表点与照射光的假想光源的相对位置来定义光源 方向矢量的步骤；

从所述各代表点中，仅选择与所定义的光源方向矢量对应的反射 矢量被包含在从确定为视认方向的方向的方向矢量起始的预定范围 内的代表点的步骤；

将所选择的所述各代表点的集合作为高亮点群，根据该高亮点群 作成在检查对象物的表面上假想地产生的高亮线的步骤；和

根据作成的高亮线对检查对象物的表面形状进行检查的步骤。