[发明专利]用于板状物件的超声波湿法处理的装置和方法

权利要求书

1.一种用于板状物件(W)的超声波湿法处理的设备(1)，包 含：

固体元件(32)，连接于换能器(4)用于以超声波能量处理该 板状物件，其中在该固体元件(32)与该板状物件(W)之间形成间 隙(G2)，该间隙具有0.1mm和15mm之间的距离d2；

液体分配装置(6)，用于在处理时将液体(l2)引入该固体元 件(32)与板状物件(W)之间的间隙(G2)中；

其特征在于，所述设备还包括

用于控制距离d2的装置，该用于控制距离d2的装置包含用于测 量距离d2的装置(82)，用于比较所测出距离与所需距离d0的装置， 及用于据此来调整该距离d2的距离调整装置。

2.如权利要求1所述的设备，其中该用于测量距离d2的装置包 含光学测量元件。

3.如权利要求1所述的设备，其中该用于测量距离d2的装置包 含超声波测量元件，所述超声波测量元件含有用于发送距离测量信号 的超声波换能器(4，81)以及用于检测该距离测量信号的超声波检测 器(82)。

4.如权利要求3所述的设备，其中该用于测量距离的超声波换 能器(81)同时是用于该板状物件的湿法处理的换能器(6)。

5.如权利要求3所述的设备，其中该用于测量距离的超声波换 能器不是用于该板状物件的湿法处理的同一个换能器。

6.如权利要求3所述的设备，其中该用于测量距离的超声波检 测器同时是用于发送该距离测量信号的超声波换能器。

7.如权利要求3所述的设备，其中该用于测量距离的超声波检 测器同时是用于该板状物件的湿法处理的换能器。

8.如权利要求3所述的设备，其中提供至少三个用于测量距离 的超声波换能器。

9.一种用于板状物件(W)的超声波湿法处理的方法，包含：

引入固体元件(32)，其在板状物件(W)的表面附近连接于换 能器(4)，以使间隙(G2)形成于该固体元件(32)与该板状物件 (W)之间，该间隙(G2)具有0.1mm和15mm之间的距离d2，其 中利用液体(l2)填充该间隙(G2)；

其特征在于，所述方法还包括

通过测量距离d2，比较所测出距离与所需距离d0，以及据此调 整该距离d2，从而控制该距离d2。

10.如权利要求9所述的方法，其中通过分配用于填充该固体元 件与该板状物件之间间隙的液体来填充该间隙。

11.如权利要求9所述的方法，其中该用于测量距离d2的装置 包含光学测量元件。

12.如权利要求9所述的方法，其中该用于测量距离d2的装置 包含超声波测量元件，其含有用于发送该距离测量信号的超声波换能 器及用于检测该距离测量信号的超声波检测器。

13.如权利要求12所述的方法，其中该用于测量距离的超声波 换能器同时是用于该板状物件的湿法处理的换能器。

14.如权利要求12所述的方法，其中该用于测量距离的超声波 换能器不是用于该板状物件的湿法处理的同一个换能器。

15.如权利要求12所述的方法，其中该用于测量距离的超声波 检测器同时是用于发送该距离测量信号的超声波换能器。

16.如权利要求12所述的方法，其中该用于测量距离的超声波 检测器同时是用于该板状物件的湿法处理的换能器。

17.如权利要求12所述的方法，其中提供至少三个用于测量距 离的超声波换能器。

18.如权利要求9所述的方法，其中该用于控制该距离的装置还 包含用于自动控制该距离d2的控制器。