[发明专利]光致抗蚀剂剥离剂组合物

权利要求书

1.一种光致抗蚀剂剥离剂组合物，其用于形成Cu或Cu合金导线 及形成Al或Al合金导线，其是在平板显示器制造工序中使用的光致抗 蚀剂剥离剂，其特征在于，该组合物含有：0.05重量％～10重量％的杂 环式化合物(A)、5重量％～45重量％的选自由烷醇伯胺和烷醇仲胺以及 烷基伯胺和烷基仲胺组成的组中的至少一种胺(B)、30重量％～94.85重 量％的极性有机溶剂(C)、以及0.1重量％～10重量％的糖醇(D)，

其中，所述杂环式化合物(A)是选自由尿嘧啶以及6-甲基尿嘧啶组成 的组中的至少一种。

2.如权利要求1所述的光致抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述胺(B) 是选自由单乙醇胺、二乙醇胺、正丙醇胺、单异丙醇胺、单乙基乙醇胺、 氨基乙氧基乙醇、单甲基乙醇胺、三亚乙基四胺以及四亚乙基五胺组成 的组中的至少一种。

3.如权利要求1所述的光致抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述极性 有机溶剂(C)是选自由二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇 单丁醚、二甲亚砜、丙二醇、N-甲基吡咯烷酮和二甲基乙酰胺组成的组 中的至少一种。

4.如权利要求1所述的光致抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述糖醇 (D)是选自由山梨糖醇和木糖醇组成的组中的至少一种。

5.如权利要求1所述的光致抗蚀剂剥离剂组合物，其中，该组合物 还含有相对于组合物总量为25重量％以下的水。

6.如权利要求5所述的光致抗蚀剂剥离剂组合物，其中，相对于组 合物总量，水的含量小于10重量％。

7.如权利要求1～6的任一项所述的光致抗蚀剂剥离剂组合物，其 中，所述胺(B)为一种以上烷醇伯胺和一种以上烷醇仲胺。