[发明专利]用于探测距离增加的自混合干涉测量术的激光传感器

权利要求书

1.一种用于自混合干涉测量术的激光传感器，包括：

至少一个发射激光辐射的半导体激光光源和至少一个监测该激光光源的激光辐射的光电探测器(6)，

其中所述激光光源是具有在第一端镜(4)的前侧上布置成层结构(15)的增益介质(3)的垂直外腔表面发射激光器，所述第一端镜(4)与外部第二端镜(5)形成外腔。

2.根据权利要求1的激光传感器，

其中所述增益介质(3)夹在所述层结构(15)中的两个分布布拉格反射器(2，4)之间，所述分布布拉格反射器中的外部的一个对于激射波长具有比内部分布布拉格反射器更高的反射率并且形成所述外腔的所述第一端镜(4)。

3.根据权利要求2的激光传感器，

其中所述层结构(15)形成在所述外腔内部的光学透明衬底(1)上。

4.根据权利要求2的激光传感器，

其中所述层结构(15)形成在所述外腔外部的衬底(1)上。

5.根据权利要求1的激光传感器，

其中所述光电探测器(6)设置在所述第一端镜(4)的后侧上。

6.根据权利要求1的激光传感器，

进一步包括用于调制所述垂直外腔表面发射激光器的操作电流的控制单元(12)。

7.根据权利要求1的激光传感器，

其中所述外部镜(5)或包括所述第一端镜(4)的所述层结构(15)安装在位移单元(11)上，所述位移单元(11)由控制单元(12)控制，从而移动所述外部镜(5)或所述第一端镜(4)用于及时调制所述外腔的光腔长度。

8.根据权利要求1的激光传感器，

其中波长调谐单元设置在所述外部镜(5)与所述增益介质(3)之间，所述波长调谐单元由控制单元(12)控制以用于调制由所述垂直外腔表面发射激光器发射的激光辐射的中心波长。

9.根据权利要求8的激光传感器，

其中所述波长调谐单元包括由致动器驱动的法布里-珀罗干涉计(13)。

10.根据权利要求8的激光传感器，

其中所述波长调谐单元包括可由致动器倾斜或旋转的标准具(14)。

11.根据权利要求1的激光传感器，

其中所述光电探测器(6)连接到评价单元(9)，所述评价单元(9)设计成根据所述光电探测器(6)的测量信号计算距离和/或速度。

12.根据权利要求1的激光传感器，

其中几个具有相应光电探测器(6)的垂直外腔表面发射激光器并排地设置并且形成一维或二维阵列，所述垂直外腔表面发射激光器相干地耦合。

13.根据权利要求12的激光传感器，

其中所述几个垂直外腔表面发射激光器中至少一个的所述外部镜(5)设计成将在所述外腔中谐振的所述激光辐射的一部分偏转，从而穿过一个或几个相邻的垂直外腔表面发射激光器的所述增益介质(3)。