[发明专利]用于多边形断裂的基于斯坦纳树的方法

说明书

技术领域

本发明涉及针对集成电路制造的掩模数据准备，更具体地涉及一 种创新的基于树的方法，用于将布局多边形断裂成子多边形(不规则 多边形更为有用)从而进行掩模写入。

背景技术

随着器件工艺在65nm处理节点以下按比例持续缩小，由解析度 增强技术(RET)的大量应用而增加的几何图形的数量在持续增长。 其部分原因是193nm光刻得利用每个新的处理节点来满足紧凑的几 何图形。结果，与掩模数据准备(MDP)相关联诸如复杂性、运行时 间和质量等问题正在急剧增长。作为MDP中一个主要并且核心的步 骤，多边形断裂(分割)将布局过程生成的复杂多边形转变成适合掩 模写入的不交叠的梯形。分割的运行时间和质量直接影响所写入的掩 模的造价、完整性和质量。

对于现代MDP来说，高质量的多边形分割方案的主要标准是： (1)使称为细条(sliver)的小的不宜印刷的几何图形的数量最小化； (2)如果不可避免这样的细条则使其所暴露的边界长度最小化；以 及(3)避免CD(关键尺寸)限制的切割线。在大多数典型的方法中， 经常使用基于切割线的启发式方法来解决多边形分割问题。这些试探 法需要经历局部切割线赋值、修正和再赋值的迭代。因此切割线的赋 值顺序和迭代深度可能显著地影响最终结果质量。对于一些示例，所 得到的分割的全局质量很难控制。

对于高质量分割的持续增长的需求要求在当前算法上的显著的 改进。为达到所有上述标准，当前基于切割线的启发式方法正变得更 难以应用，并且其结果常常被困于局部最优。另外，每个基于切割线 的启发式方法通常针对特定的优化目标来设计和定制，如最小化切割 线长度或最小化图形计数。如果改变最优化目标变得有必要，那么整 个算法通常必须被改变。这些针对基于切割线的方法的改变其灵活性 和可移植性是较低的。

因此，非常需要新的更好的算法来实现用于掩模数据准备的高质 量的多边形分割。

发明内容

概括地说，根据本发明，描述了一种用于掩模数据准备的方法， 用以与包括起始多边形的初步掩模布局一起使用，包括I点的输入(下 文称作“起始”)多边形的顶点是具有严格大于90度的内角的起始 多边形的那些顶点，所述方法包括步骤：至少在起始多边形的I点上 生长直线分割树，并且利用分割树的边来将起始多边形的分割定义成 用于掩模写入的子多边形。

附图说明

图1A-图1G(总称图1)示出了根据本发明的特征的多边形分割 实例的各个阶段；

图2示出了说明性的集成电路设计流程的简化表示；

图3是示出了图2的掩模准备步骤的部分的流程图；

图4-图10一起构成示出了分割起始多边形的方法的流程图；

图11示出了部分斯坦纳树；以及

图12是计算机系统1210的简化框图，其可用以实现用于执行本 发明的多个方面的软件。

具体实施方式

下文中详细的描述是参考附图给出的。在这里将对优选实施方式 进行描述，以便示例本发明，但是这些优选实施方式并未限制本发明 的范围，并且本发明的范围是由权利要求限定的。本领域技术人员将 会认识到针对后续描述所进行的各种等效改变。

多边形断裂方法概述

在此描述的用于解决多边形分割问题的创新方法基于对一种变 体的斯坦纳(Steiner)最小树进行形式化，其从这里开始被称作最小 分割树(MPT)。原始多边形的拐顶点(inflectionvertex)和一些由 候选切割线和多边形边界相交的附加点被用作所述树的端节点。通过 在这些树端点上构造特定形式化的斯坦纳树来获得一个分割，其切割 线由所得到的树的边来建议。