[发明专利]用于表面测量的装置和方法

权利要求书

1.一种确定表面特征的尺寸和位置的方法，所述方法包括以下步骤：

(a)从由表面特征的表面测量结果获得的多个数据点产生所述表面特征 的数字化图像；

(b)将所述数字化图像与所述表面特征的标称图像拟合，其中依次将所述 数字化图像的不同部分与所述标称图像拟合；以及

(c)确定在步骤（b）中被拟合的所述数字化图像与所述标称图像的偏差， 由此确定所述表面特征的尺寸、位置和形状偏差中的至少一个。

2.根据权利要求1所述的方法，其中通过使用安装在坐标定位装置上的 表面感测设备来收集从所述表面特征的表面测量结果获得的多个数据点。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述表面感测设备包括测量探针。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述表面感测设备安装在活动连接 探头上，所述活动连接探头使得测量探针能够围绕两个或多个轴线旋转。

5.根据权利要求3或4所述的方法，其中所述测量探针是接触探针。

6.根据权利要求1所述的方法，其中通过最佳拟合方法来实施步骤（b） 中的将所述数字化图像与标称图像拟合的步骤。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个数据点所涉及的表面积大 于所述表面特征的表面积。

8.根据权利要求1所述的方法，其中使用在步骤（c）中确定的所述数 字化图像与所述标称图像的偏差来确定以下至少之一：所述表面特征在零件 中的横向位置、所述表面特征在零件中的高度以及所述表面特征在零件中的 角度。

9.根据权利要求1所述的方法，其中从对所述表面特征的接触式表面测 量结果获得所述多个数据点。

10.根据权利要求1所述的方法，其中从螺旋测量轮廓收集所述表面测 量结果。

11.一种用于确定表面特征的尺寸和位置的系统，所述系统包括：

装置A，所述装置A从由表面特征的表面测量结果获得的多个数据点产 生所述表面特征的数字化图像；

装置B，所述装置B将所述数字化图像与所述表面特征的标称图像拟合， 其中依次将所述数字化图像的不同部分与所述标称图像拟合；以及

装置C，所述装置C确定由装置B拟合的数字化图像与所述标称图像的 偏差，由此确定所述表面特征的尺寸、位置和形状偏差中的至少一个。

12.根据权利要求11所述的系统，其中通过使用安装在坐标定位装置上 的表面感测设备来收集从所述表面特征的表面测量结果获得的多个数据点。

13.根据权利要求12所述的系统，其中所述表面感测设备包括测量探 针。

14.根据权利要求13所述的系统，其中所述表面感测设备安装在活动连 接探头上，所述活动连接探头使得测量探针能够围绕两个或多个轴线旋转。

15.根据权利要求13或14所述的系统，其中所述测量探针是接触探针。

16.根据权利要求11所述的系统，其中所述装置B实施最佳拟合方法 来将所述数字化图像与标称图像拟合。

17.根据权利要求11所述的系统，其中所述多个数据点所涉及的表面积 大于所述表面特征的表面积。

18.根据权利要求11所述的系统，其中使用由装置C确定的所述数字 化图像与所述标称图像的偏差来确定以下至少之一：所述表面特征在零件中 的横向位置、所述表面特征在零件中的高度以及所述表面特征在零件中的角 度。

19.根据权利要求11所述的系统，其中从对所述表面特征的接触式表面 测量结果获得所述多个数据点。

20.根据权利要求11所述的系统，其中从螺旋测量轮廓收集所述表面测 量结果。