[发明专利]具有刻蚀终止层的微机电系统(MEMS)器件

权利要求书

1.一种MEMS器件，包括：

一个衬底；

上述衬底上的一个电路；

至少一个与上述电路相连的电极；

至少一个由上述电极控制的机械可动单元；

一层上述电极和上述电路之间的平面保护层；

其中上述保护层至少有一个穿通-孔，其中充满实现上述电极和上述电路电 互连的通孔；

上述保护层为半导体材料，该保护层掺杂并形成被施加到上述电极的电压反 向偏置的PN结以阻止从上述电极流出电流。

2.权利要求1所述MEMS器件，其中：

上述MEMS器件为具有一个竖直铰链的微镜。

3.权利要求2所述MEMS器件，其中：

上述竖直铰链通过一组桩、支柱和墙与上述反光可动单元相连。

4.权利要求1所述MEMS器件，其中：

上述保护层的半导体材料选自包括Si、SiC、Ge、SiGe、SiNi和SiW的材 料组中。