[发明专利]溅镀装置及溅镀方法有效
申请号: | 200880011831.1 | 申请日: | 2008-04-24 |
公开(公告)号: | CN101657562A | 公开(公告)日: | 2010-02-24 |
发明(设计)人: | 矶部辰德;赤松泰彦;仓田敬臣;新井真;小松孝 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱发科 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 | 代理人: | 齐永红 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 方法 | ||
1.一种溅镀装置,具有在溅镀室内隔规定间隔并列设置的多个阴极靶,给各阴极靶提供电力的溅镀电源,给溅镀室导入溅镀气体及反应气体的气体导入手段;其特征在于:将前述反应气体导入溅镀室的气体导入手段至少具有1根朝各阴极靶的并列设置方向延伸的供气管;该供气管在并列设置的各阴极靶的背面一侧与各阴极靶隔一定距离配置的同时,具有向阴极靶喷射反应气体的喷射口。
2.根据权利要求1所述的溅镀装置,其特征在于:前述溅镀电源是交流电源,其给并列设置的多个阴极靶中的每一对,以规定频率交替改变极性地外加电压,使各阴极靶交替切换为阳极电极、阴极电极,使阳极电极及阴极电极间产生辉光放电,形成等离子气氛,使各阴极靶溅射。
3.根据权利要求1或2所述的溅镀装置,其特征在于:在前述并列设置的阴极靶和供气管之间设置磁铁组件,所述磁铁组件在各阴极靶的前方形成隧道形磁力线。
4.根据权利要求3所述的溅镀装置,其特征在于:配置使前述磁铁组件沿阴极靶背面平行往返运动的驱动手段。
5.一种溅镀方法,通过使溅镀室内隔规定间隔且并列设置在处理基板相对位置上的多块阴极靶中成对的阴极靶以规定的频率交替改变极性地外加交流电压,一边导入溅镀气体,一边把各阴极靶交替切换为阳极电极、阴极电极,使阳极电极以及阴极电极间产生辉光放电,形成等离子气氛,溅射各阴极靶,同时导入反应气体,在处理基板表面上形成规定的薄膜,其特征在于:将前述反应气体导入溅镀室的气体导入手段至少具有1根朝各阴极靶的并列设置方向延伸的供气管;该供气管在并列设置的各阴极靶的背面一侧与各阴极靶隔一定距离配置,该供气管具有向阴极靶喷射反应气体的喷射口,以使前述反应气体首先在阴极靶背面一侧的空间内扩散之后,再通过各阴极靶彼此间的间隙提供给处理基板。
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