[发明专利]旋涂机、其温度控制方法、光盘生产设备以及光盘生产方法

权利要求书

1.一种旋涂机，其包括：

旋转地支持盘基底的旋转工作台，

围绕被支持在所述旋转工作台上的所述盘基底的外圆周的旋杯，

配置来将紫外固化树脂组合物下滴至所述盘基底的表面上的滴液部件，

配置来通过所述旋转工作台旋转所述盘基底以将所述紫外固化树脂组合物铺展于所述盘基底的表面上的旋转部件，

配置来加热在所述盘基底上的所述紫外固化树脂组合物的加热部件，以及

配置来控制所述旋杯的达到温度——该达到温度每次在所述紫外固化树脂组合物铺展时通过所述加热部件升高——以使温度在多次旋涂过程中恒定的温度控制部件，

其中所述温度控制部件具有在所述旋杯中形成的流动通道以及配置来向所述流动通道供给介质的供给部件。

2.根据权利要求1所述的旋涂机，其中所述滴液部件被配置来围绕圆形开口外周以环形模式滴下所述紫外固化树脂组合物，其中该圆形开口形成在通过旋转部件的旋转而旋转的所述盘基底的中心。

3.根据权利要求1所述的旋涂机，其中所述旋杯具有在其表面上设置有所述流动通道的主体以及用于覆盖所述流动通道的绝热盖。

4.根据权利要求1所述的旋涂机，其中所述温度控制部件包括：

温度检测部件，其被配置来检测所述旋杯的温度，以及

温度调节部件，其被配置来基于所检测的旋杯温度进行所述介质的温度的反馈控制。

5.根据权利要求1所述的旋涂机，其进一步包括：

抽吸部件，其被配置来在从每次旋涂过程的结束到下一次旋涂过程的开始的时间间隔期间吸取所述旋杯中的空气以从所述旋杯中去除所述空气。

6.根据权利要求5所述的旋涂机，其中所述抽吸部件具有抽吸端口，所述抽吸端口面对在所述旋杯的顶表面上形成的开口。

7.一种控制旋涂机的温度的方法，所述旋涂机具有围绕被支持在旋转工作台上的盘基底的外圆周的旋杯，所述方法包括：

将紫外固化树脂组合物——其已被下滴至所述盘基底的表面上——铺展于所述盘基底的所述表面上，同时加热所述紫外固化树脂组合物，以及

控制所述旋杯的达到温度——该达到温度每次在所述紫外固化树脂组合物铺展时通过加热部件升高，以使其温度在多次旋涂过程中恒定，

其中通过向所述旋杯中形成的流动通道供给介质来控制所述旋杯的达到温度以使温度恒定。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述铺展步骤包括：

将所述紫外固化树脂组合物下滴至所述盘基底的所述表面上，

通过旋转所述盘基底上的所述紫外固化树脂组合物，在所述盘基底的表面上形成由所述紫外固化树脂组合物组成的树脂层，同时加热所述紫外固化树脂组合物，以及

通过旋转形成在所述盘基底上的所述树脂层，抖落所述紫外固化树脂组合物的过量部分。

9.一种光盘生产设备，其包括：

旋涂机，

其中所述旋涂机包括：

旋转地支持盘基底的旋转工作台，

围绕被支持在所述旋转工作台上的所述盘基底的外圆周的旋杯，

配置来将紫外固化树脂组合物下滴至所述盘基底的表面上的滴液部件，

配置来通过所述旋转工作台旋转所述盘基底以将所述紫外固化树脂组合物铺展于所述盘基底的表面上的旋转部件，

配置来加热在所述盘基底上的所述紫外固化树脂组合物的加热部件，以及

配置来控制所述旋杯的达到温度——该达到温度每次在所述紫外固化树脂组合物铺展时通过所述加热部件升高——以使温度在多次旋涂过程中恒定的温度控制部件，

其中所述温度控制部件具有在所述旋杯中形成的流动通道以及配置来向所述流动通道供给介质的供给部件，并且

其中使用所述旋涂机形成覆盖层。