[发明专利]用于传送基底的机械手的末端执行器

说明书

本专利申请要求提交于2007年4月5日的美国临时申请60/921,946的优先权，该临时申请全文以引用方式并入本文。 

发明背景 

发明领域

本发明涉及作为机械手的组成构件的末端执行器，该机械手用于传送多种类型的基底，例如液晶显示屏中使用的玻璃基底。本发明还涉及包括所述末端执行器的机械手。 

背景技术

随着液晶显示屏尺寸的增大，在液晶显示屏生产过程中采用的玻璃的尺寸近来也变得更大。尽管在传送玻璃基底时，采用了提供末端执行器来夹持基底的基底传送机械手，但这些机械手也趋于变得更大。美国专利6,893,712中公开了在传送半导体硅片和液晶基底的机械手中使用的传送构件，这是涉及末端执行器和基底传送机械手的技术的实例。 

尽管美国专利6,893,712公开了组合多个碳纤维强化的塑料件的末端执行器，但在应用该技术来夹持被称为第八代基底的大尺寸玻璃基底的情况下，尤其存在末端执行器弯曲的问题。 

期望使用可夹持大尺寸基底的末端执行器。还期望装备有此类末端执行器的基底传送机械手，用于传送大尺寸基底，尤其是用于液晶显示屏的大尺寸玻璃。 

发明概述 

本发明的目的是提供末端执行器和装备有所述末端执行器的基底传送机械手，该末端执行器外形纤细、耐弯曲、重量轻、并且足以用于夹持称 为第八代基底的大尺寸玻璃基底。此外，本发明的目的是提供用于容易地制造长型末端执行器的方法。 

本发明为基底传送机械手的末端执行器，所述末端执行器包括纤维强化的塑料(FRP)制成的上板、FRP下板以及布置在上板与下板之间的中间构件，中间构件包含选自铝、不锈钢和蜂窝状FRP的材料。纤维优选为碳纤维、芳族聚酰胺纤维或聚对苯撑苯并二噁唑纤维。 

此外，本发明涉及装备有前述末端执行器的基底传送机械手。 

本发明的末端执行器由上板、下板以及布置在这之间的中间构件构成。这类末端执行器与仅由碳纤维强化的材料构成的末端执行器相比具有更加简单的结构。此外，它还能降低制造成本。例如，圆柱形末端执行器的制造工艺较为复杂。在生产用于第八代基底等的末端执行器的情况下，制造尤其困难。就这一点而言，本发明的末端执行器可通过简单地对板状构件进行层合来制造，从而使制造工艺变得极为简单。根据情况，可将上板、下板和中间构件运送到液晶面板制造厂，并在厂内进行装配，以方便地制造末端执行器。 

此外，本发明的末端执行器为复合件，该复合件由包含纤维强化的塑料的上板和下板，以及由铝、不锈钢或蜂窝状纤维强化的塑料制成的中间构件构成。在以此方式使用具有不同特性的中间构件的情况下，与仅由碳纤维复合材料构成的末端执行器相比，可提高减振性能。因此，可有效防止末端执行器弯曲期间各玻璃基底之间的接触。这一特性在长型末端执行器中尤其有用，例如用于第八代基底的末端执行器。 

此外，本发明的末端执行器采用碳纤维复合材料或强化纤维用于上板和下板。因此，可提供重量轻并且纤细的末端执行器。 

此外，由于前述末端执行器兼具外形纤细、抑制弯曲和重量较轻的特点，本发明的基底传送机械手可优选用于在液晶显示屏制造工艺中来传送玻璃基底。由于本发明的基底传送机械手具有上述极高的抑制弯曲的效果，因此尤其优选用于夹持称为第八代基底的大尺寸玻璃基底。然而，本发明并不仅限于第八代基底，而是理所当然地还可用于其他尺寸的玻璃基底以及除玻璃基底之外的基底。 

附图简述 

图1A为作为本发明的实例的末端执行器12的透视图，图1B为其顶视图，图1C为其侧视图； 

图2A为本发明的末端执行器的实例的侧视图，图2B为其前视图，其中中间构件为中空矩形棱柱； 

图3A为本发明的末端执行器的实例的顶视图，图3B为其侧视图，图3C为其后视图，其中中间构件为U形构件； 

图4A为本发明的末端执行器的实例的顶视图，图4B为其侧视图，图4C为其前视图，其中中间构件由蜂窝状芳族聚酰胺纤维制成； 

图5为基底传送机械手30的实例的示意性透视图，该基底传送机械手装备有本发明的末端执行器。 

优选实施方案说明 

下面结合附图对本发明的末端执行器和基底传送机械手进行详细阐述。