[发明专利]测量玻璃板中缺陷的装置

权利要求书

1.一种表征基板上的表面缺陷的方法，所述方法包括：

提供相干辐射束；

提供非平坦的镜面基板；

将该辐射束分成探针束和参考束；

用第一反射元件截取并反射该探针束，以垂直辐照该基板上包含表面缺陷的局部表面，其中，该局部表面相对于该探针束的纵轴倾斜；

用第二反射元件截取并反射该参考束；

采集自该局部表面反射的探针束以及自该第二反射元件反射的参考束；

将自该第二反射元件反射的参考束以及自该局部表面反射的探针束组合，从而形成由局部表面倾斜产生的第一组干涉条纹以及由表面缺陷产生的第二组干涉条纹；

检测第一组和第二组干涉条纹；

用第一反射元件操控探针束，使由局部表面倾斜产生的干涉条纹的数目最小；

使用检测到的、由表面缺陷产生的干涉条纹表征该缺陷。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该基板的厚度大于该辐射束的相干长度。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，检测步骤包括辐照传感器上的二维像素阵列。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，探针束经过的光程长度基本等于参考束经过的光程长度。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，该辐射束的相干长度小于300微米。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该第一反射元件绕两个正交轴旋转。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该局部表面和表面缺陷位于基板上与第一反射元件相对的一面上。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，操控步骤包括对准探针束，使该探针束的纵轴基本垂直于该局部表面。