[发明专利]水晶振子片及其制造方法

权利要求书

1.一种水晶振子片的制造方法，所述水晶振子片包括具有第一侧 面和第二侧面的振动腿，其特征在于，具有：

在水晶片的表面上形成第一蚀刻掩模，并在所述水晶片的背面上 形成第二蚀刻掩模；

通过用蚀刻溶液进行浸渍，将未被所述第一蚀刻掩模和所述第二 蚀刻掩模覆盖的部分的水晶溶解，从而形成所述振动腿的步骤，

在所述第二蚀刻掩模中，从与所述第一蚀刻掩模的第一端部对应 的位置突出的第一突出部的长度被设定成，使形成在所述第一侧面侧 的第一残渣固定不变，而跟所述第一蚀刻掩模与所述第二蚀刻掩模的 错位无关，

所述第一和第二蚀刻掩模，对形成在所述第二侧面侧的第二残渣 进行调整，从而使穿过与所述振动腿的纵向正交的截面的图心的两个 主轴中的一方，被形成为与所述水晶片的表面或背面大致平行。

2.如权利要求1所述的水晶振子片的制造方法，其特征在于，当 所述第一蚀刻掩模的宽度形成得比所述第二蚀刻掩模的宽度小、所述 水晶片的厚度为t、所述第一侧面侧的蚀刻角度为α时，以在所述第 一侧面侧，使所述第一突出部的长度b满足

b＞t×tanα

的关系的方式，把所述第一蚀刻掩模和所述第二蚀刻掩模形成在所述 水晶片上。

3.如权利要求2所述的水晶振子片的制造方法，其特征在于，当 所述第一蚀刻掩模与所述第二蚀刻掩模的位置对齐精度为p、且所述 第二蚀刻掩模的第一侧面侧的掩膜偏置量为k时，以使所述第一突出 部的长度b满足

b＝t×tanα+k

k＞p

的关系的方式，把所述第一蚀刻掩模和所述第二蚀刻掩模形成在所述 水晶片上。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的水晶振子片的制造方法， 其特征在于，当所述第一蚀刻掩模的宽度形成得比所述第二蚀刻掩模 的宽度小、所述水晶片的厚度为t、所述第一侧面侧的蚀刻角度为α 时，以在所述第二侧面侧，使所述第二蚀刻掩模中的从与所述第一蚀 刻掩模的第二端部对应的位置突出的第二突出部的长度c满足

c＜t×tanα

的关系的方式，把所述第一蚀刻掩模和所述第二蚀刻掩模形成在所述 水晶片上。

5.如权利要求4所述的水晶振子片的制造方法，其特征在于，当 所述第一蚀刻掩模的宽度形成得比所述第二蚀刻掩模的宽度小、所述 水晶片的厚度为t、所述第二侧面侧的蚀刻角度为α时，以在所述第 二侧面侧，使所述第二蚀刻掩模中的从与所述第一蚀刻掩模的第二端 部对应的位置突出的第二突出部的长度c满足

c＝0.7×t×tanα

的关系的方式，把所述第一蚀刻掩模和所述第二蚀刻掩模形成在所述 水晶片上。

6.一种水晶振子片，所述水晶振子片从水晶片的表背两面通过蚀 刻进行加工，其特征在于，具有：

被形成为宽度相互不同而且大致平行的表面和背面，

具有形成在所述表面和所述背面之间的第一侧面和第二侧面的振 动腿，

配置在所述第一侧面侧、在一个斜面固定不变地形成的第一残渣，

和配置在所述第二侧面侧的第二残渣，

所述第二残渣被调整成，使穿过与所述振动腿的纵向正交的截面 的图心的两个主轴中的一方，被形成为与所述表面或所述背面大致平 行。