[发明专利]接触面板、接触面板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及接触面板(touch panel)的技术领域。

背景技术

一直以来，接触面板广泛用于ATM、自动售货机、便携式信息终端、便携式游戏机、电子导引显示板、汽车导航或便携式电话等。

一般接触面板是将在表面形成了ITO薄膜等的透明电极膜的2块面板以使透明电极膜彼此相对的状态粘贴而作成的。在2块面板之中，至少一个面板具有可挠性，一按压可挠性面板，则在按压的场所透明电极膜相互间导通。这样的接触面板有被称为矩阵方式和被称为阻抗膜方式的面板。

不管哪种方式的面板，都是通过使透明电极膜相互间直接或间接地接触来使之导通，所以如果重复按压相同场所，就会因摩擦而在透明电极膜产生白浊化或破裂。特别是，寻求对于在可挠性面板被按压侧的面板的透明电极要采取的措施。

专利文献1：日本特开2003-151366号公报

发明内容

本发明为解决上述课题构思而成，其目的在于提供耐久性高的接触面板。

为了解决上述课题，本发明的接触面板具有：显示装置，该显示装置具有板状的显示面板和配置在所述显示面板表面上的下部电极膜；以及可挠性面板，该可挠性面板具有可挠性薄膜和配置在所述可挠性薄膜表面上的上部电极膜，在所述显示装置的所述下部电极膜一侧的面上，配置有多个间隔物，所述可挠性面板以使配置了所述上部电极膜一侧的面朝向所述下部电极膜的状态配置在所述间隔物上，若按压所述可挠性面板，则所述下部电极膜与所述上部电极膜导通，在所述接触面板中，所述上部电极膜和所述下部电极膜中任一方或双方，具有以In₂O₃为主成分并含有Ti的透明电极膜，所述透明电极膜露出在所述上部电极膜表面与所述下部电极膜表面中的任一方或双方。

在本发明的接触面板中，所述下部电极膜具有含有ITO的辅助电极膜，所述辅助电极膜位于所述透明电极膜与所述显示面板之间。

在本发明的接触面板中，所述显示装置具有防反射层，所述防反射层配置在所述显示面板与所述下部电极膜之间。

本发明的接触面板的制造方法，在第一基板表面上，形成第一电极膜而作成第一面板，该第一电极膜的表面露出透明电极膜，将在第二基板表面上形成有第二电极膜的第二面板和所述第一面板，以使所述第一、第二电极膜相对的方式粘贴，在该接触面板的制造方法中，在配置了所述第一基板的真空槽内溅镀以In₂O₃为主成分并添加了Ti的靶形成所述透明电极膜。

在本发明的接触面板的制造方法中，在配置了所述第一基板的真空槽内溅镀以由ITO和ZnO中的任一方或双方所构成的透明导电材料为主成分的靶，在所述第一基板表面上形成辅助电极膜，然后在所述辅助电极膜表面形成所述透明电极膜，形成具有所述辅助电极膜和所述透明电极膜的所述第一电极膜。

在本发明的接触面板的制造方法中，在形成所述辅助电极膜后，在形成了所述辅助电极膜的所述真空槽内，形成所述透明电极膜。

在本发明的接触面板的制造方法中，使所述第一基板在所述真空槽内移动，并使所述第一基板多次通过与以In₂O₃为主成分并添加Ti的所述靶面对的位置，从而形成所述透明电极膜。

在本发明的接触面板的制造方法中，在配置了所述第一基板的真空槽内部，一边将氧化气体与氮化气体中的任一方或双方进行等离子化，一边在所述真空槽内溅镀第一金属靶，在所述第一基板表面上形成了第一透明膜，然后，将所述第一基板配置在所述真空槽内的状态下，在所述真空槽内部，一边使氧化气体与氮化气体中任一方或双方进行等离子化，一边溅镀以与所述第一金属靶不同种类的金属为主成分的第二靶，在所述第一透明膜的表面上形成第二透明膜而形成了防反射层，然后，将所述第一基板配置在所述真空槽内的情况下，在该真空槽内，对以In₂O₃为主成分并添加Ti的所述靶进行溅镀，形成所述透明电极膜。

(发明效果)

以In₂O₃为主成分并含有Ti的透明电极膜，比起ITO等传统透明电极膜，耐磨耗性高，即使重复按压也不破损。以In₂O₃为主成分并含有Ti的透明电极膜的透明性、电性上的特性并不亚于ITO。由于不需要形成保护膜等，用以增强的表面处理，所以不损及透明性、电性上的特性，而且，制成本变便宜。

附图说明