[发明专利]用于制造传感器系统的方法和传感器系统

权利要求书

1.一种用于制造在测量技术上监测元件(1)的传感器系统的方法，该传 感器系统带有至少一个采用厚膜技术并通过导线(8)连接到测量系统的传感 器(5)，其中，所述至少一个传感器(5)由至少一层导电的糊料(2)构成，并且 该糊料(2)被烘烤，其特征在于，通过将用于形成所述至少一个传感器(5)的 至少一层糊料(2)直接涂敷在待检测的元件(1)的表面并且直接烘烤在所述元 件(1)上而在所述待监测的元件(1)的表面上直接设置所述至少一个传感器 (5)。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，以厚膜技术直接在所述待监 测的元件(1)的表面上形成所述至少一个传感器(5)的连接导体(8)。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，直接在所述待监测的元 件(1)的表面上形成多个传感器(5)，并且通过现场总线(6)将这些传感器相互 连接。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，以厚膜技术直接在所述待监 测的元件(1)的表面上形成所述现场总线(6)。

5.如权利要求3或4所述的方法，其特征在于，在各个传感器(5)中形 成具有不同谐振频率的振荡回路。

6.如权利要求1至5之一所述的方法，其特征在于，借助于可移动的装 置(9)将所述糊料(2)直接烘烤在所述待监测的元件(1)上。

7.如权利要求1至6之一所述的方法，其特征在于，在高达约900℃的 不同温度下烘烤所述糊料(1)。

8.如权利要求1至7之一所述的方法，其特征在于，在保护气体氛围下 烘烤所述糊料(2)。

9.如权利要求1至8之一所述的方法，其特征在于，将用于形成所述至 少一个传感器(5)的、以及或许用于形成连接导线(8)的和必要时用于形成所 述现场总线(6)的所述糊料(2)设置在凹模(19)中，并且按照转印原理转移到所 述待监测的元件(1)的表面上。

10.如权利要求1至9之一所述的方法，其特征在于，为所述至少一个 传感器(5)以及或许所述连接导体(8)和必要时的所述现场总线(6)配设一保护 层。

11.一种用于在测量技术上监测元件(1)的传感器系统，带有至少一个采 用厚膜技术并通过导线(8)与测量系统连接的传感器(5)，其中，所述至少一 个传感器(5)由至少一层在温度下硬化的导电糊料(2)构成，其特征在于，所 述至少一个传感器(5)直接设置在待监测的元件(1)的表面上。

12.如权利要求11所述的传感器系统，其特征在于，所述至少一个连接 导体(8)以厚膜技术制造，并且直接设置在所述待监测的元件(1)的表面上。

13.如权利要求11或12所述的传感器系统，其特征在于，多个传感器 (5)直接设置在所述待监测的元件(1)的表面上，并且通过现场总线(6)相互连 接。

14.如权利要求13所述的传感器系统，其特征在于，所述现场总线(6) 以厚膜技术制造并且直接设置在所述待监测的元件(1)的表面上。

15.如权利要求13或14所述的传感器系统，其特征在于，各个传感器 (5)分别包括具有不同谐振频率的振荡回路，用于区别测量信号。

16.如权利要求11至15之一所述的传感器系统，其特征在于，所述至 少一层未硬化的所述糊料(2)，为形成所述至少一个传感器(5)、或许还有所 述连接导线(8)以及必要时还有所述现场总线(6)，被设置在凹模(19)中并且可 按照转印原理转移到所述待监测的元件(1)的表面上。

17.如权利要求11至16之一所述的传感器系统，其特征在于，用于形 成所述至少一个传感器(5)的所述糊料(2)，以及可能用于形成所述连接导体(8) 的所述糊料(2)以及必要时用于形成所述现场总线(6)的所述糊料(2)通过胶粘 剂混合物形成。