[发明专利]手持的自容式光发射光谱（OES）分析仪

权利要求书

1.一种用于分析样本的一部分的成分的分析仪，包括：

手持的、自容式测试仪器，该仪器用于与所述样本的一部分接触，其包 括：

用于激发所述样本的一部分的激发器，所述激发产生光信号；

布置在手持式仪器的内第一色散元件，用于接收所述光信号并创建 在第一平面内色散的中间光信号，其中所述第一色散元件包括交叉色散棱镜；

布置在所述手持式仪器内的包含衍射光栅的第二色散元件，用于色 散来自第一色散元件的所述中间光信号，从而将第一分辨光学阶置于相应的 第一复数个探测器元件上，并将第二分辨光学阶置于相应的第二复数个探测 器元件上；

处理器，该处理器连接并用于接收来自第一和第二复数个探测器元 件的信号并被编程以处理所述信号；及

为所述激发器和所述处理器供电的电池。

2.如权利要求1所述的分析仪，其中，置于相应的复数个探测器元件上 的所述光学阶中的至少一个延伸至波长小于大约193nm。

3.如权利要求1所述的分析仪，其中，置于相应的复数个探测器元件上 的所述光学阶中的至少一个延伸至波长小于大约178nm。

4.如权利要求1所述的分析仪，其中，置于相应的复数个探测器元件上 的所述光学阶中的至少一个延伸至波长至少与大约170nm一样短。

5.如权利要求1所述的分析仪，其中，每组复数个探测器元件被配置为 接收置于复数个探测器元件上的分辨光学阶的连续光谱范围。

6.如权利要求5所述的分析仪，其中，置于第一和第二复数个探测器元 件上的光谱范围共同至少延伸到大约178nm至大约400nm。

7.如权利要求1所述的分析仪，进一步包括界定孔的结构，所述中间光 信号通过该孔。

8.如权利要求7所述的分析仪，其中，所述光信号聚焦在所述结构上。

9.如权利要求1所述的分析仪，其中，所述激发器包括：

电极，用于保持相对于所述样本的一部分的电位差；及

电压提供装置，用于产生所述电极上的相对于所述样本的一部分的所述 电位差。

10.如权利要求1所述的分析仪，其中，所述激发器包括激光。

11.如权利要求1所述的分析仪，其中，所述衍射光栅是全息衍射光栅， 用于在第一和第二分辨光学阶中提供可比效率。

12.如权利要求1所述的分析仪，其中，

第一复数个探测器元件与第二复数个探测器元件不共平面；及

所述测试仪器还包括位于第一和第二分辨光学阶之一的光路上的镜，该 镜位于第二色散元件和相应的复数个探测器元件之间。

13.如权利要求1所述的分析仪，其中，第一和第二色散元件及第一和 第二复数个探测器元件固定连接到碳填充聚合物结构件上。

14.如权利要求13所述的分析仪，其中，所述碳填充聚合物包括石墨填 充的聚亚苯基硫化物。

15.如权利要求13所述的分析仪，其中，所述碳填充聚合物包括由至少 约40％石墨填充的聚亚苯基硫化物。

16.如权利要求1所述的分析仪，其中，所述处理器被编程以基于观测 到的光谱特征进行自动波长校准。

17.如权利要求1所述的分析仪，其中，第二色散元件提供至少大约5000 的分辨能力。

18.如权利要求1所述的分析仪，其中，第二色散元件提供至少大约10000 的分辨能力。

19.如权利要求1所述的分析仪，进一步包括连接至所述处理器的显示 屏。

20.如权利要求1所述的分析仪，进一步包括连接至所述处理器的铰合 的显示屏。

21.如权利要求1所述的分析仪，其中，所述分析仪在大约190nm时具 有至少大约0.02nm每像素的分辨率。