[发明专利]用于光学相干断层扫描的系统和方法

权利要求书

1.用于光学相干断层扫描的系统，其具有

-干涉仪(10)，该干涉仪(10)用于输出用来照射样本(1)的 光，其中该干涉仪(10)包括分束器(13)和至少一个第一反射器(12)， 该第一反射器(12)到该分束器(13)的光学距离(l)能够被改变一 个光程L，以及

-探测器(30)，该探测器具有第一数量N1的、设置在第一面 (F1)中的、用于探测由该样本(1)所反射的光的探测器单元(80)，

其特征在于，

该系统能够运行于第一模式，在该第一模式中由该样本(1)所 反射的光仅仅由该探测器(30)的第二数量N3的探测器单元(80) 所探测，并被转换为相应的探测器信号，其中探测器单元(80)的第 二数量N3小于探测器单元(80)的第一数量N1。

2.根据权利要求1所述的系统，其中探测器单元(80)的第二 数量N3最高为探测器单元(80)的第一数量N1的四分之一：N3≤ 1/4N1。

3.根据权利要求1或2所述的系统，其中所述第二数量N3的探 测器单元(80)被设置在一个第二面(F2)中，该第二面构成该第一 面(F1)的关联的部分面。

4.根据权利要求3所述的系统，其中该第一面(F1)具有第一 宽度(b1)和第一长度(c1)，该第二面(F2)具有第二宽度(b2) 和第二长度(c2)，其中该第一长度和第二长度(c1及c2)基本是相 同的，而该第二宽度(b2)小于该第一宽度(b1)。

5.根据权利要求1或者2所述的系统，其中该第一反射器(12) 到该分束器(13)的光学距离(l)可以被改变一个如下光程L：该光 程明显大于被耦合入该干涉仪(10)中的光(14)的平均波长λ₀： L＞＞λ₀。

6.根据权利要求5所述的系统，其中在将该第一反射器(12) 到该分束器(13)的光学距离(l)改变该光程L期间，所述由该样本 (1)所反射的光仅仅被该探测器(30)的第二数量N3的探测器单元 (80)多次地探测，由此获得穿过该样本(1)的空间单元(33)的 多个二维的深度截面(67)。

7.根据权利要求5所述的系统，其中该干涉仪(10)还包含有 第二反射器(11)，该第二反射器(11)到该分束器(13)的光学距 离能够被改变如下的另一光程L`：该另一光程L`最高为该耦合入到该 干涉仪(10)中的光(14)的平均波长λ₀的十倍：L`≤10·λ₀，并且 该系统能够运行于一个第二模式中，在该第二模式中，在改变所述第 二反射器(11)到该分束器(13)的光学距离期间，由该样本(1) 所反射的光被该探测器(30)的探测器单元(80)多次地探测，由此 在该样本(1)的、通过该第一反射器(12)到该分束器(13)的光 学距离(l)所预先给定的深度(T)中获得穿过该样本(1)的空间单 元(33)的二维截面(68)。

8.根据权利要求5所述的系统，其中该干涉仪(10)还包含有 第二反射器(11)，该第二反射器(11)到该分束器(13)的光学距 离能够被改变如下的另一光程L`：该另一光程最高为该耦合入到该干 涉仪(10)中的光(14)的平均波长λ<sub>0</sub>的十倍：L`≤10·λ₀，并且该 系统能够运行于一个第二模式中，在该第二模式中，在改变所述第二 反射器到该分束器(13)的光学距离期间，由该样本(1)所反射的 光被该探测器(30)的探测器单元(80)最多五次地探测，由此在该 样本(1)的、通过该第一反射器(12)到该分束器(13)的光学距 离(l)所预先给定的深度(T)中获得穿过该样本(1)的空间单元(33) 的二维截面(68)。